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J-GLOBAL ID：201402295672639591   整理番号：14A0794691

光MEMS:マイクロミラーから複雑なシステムまで

Optical MEMS: From Micromirrors to Complex Systems

著者 (6件)： SOLGAARD Olav (Stanford Univ., CA, USA) ,  GODIL Asif A. (AG Microsystems, CA, USA) ,  HOWE Roger T. (Stanford Univ., CA, USA) ,  LEE Luke P. (Univ. California at Berkeley, CA, USA) ,  PETER Yves-Alain (Ecole Polytechnique de Montreal, QC, CAN) ,  ZAPPE Hans (Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 23  号： 3  ページ： 517-538  発行年： 2014年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,光MEMSの研究の状況について年代順に記載し,簡明な光MEMSの歴史から始めて,チューナブル素子,通信,生物学,生体医学センサ,およびナノ構造などにおける光MEMSの最先端の研究について説明した。光MEMSの応用分野は,チューナブルオプティクス,空間光変調器,光ファイバ通信デバイスおよびシステム,生体,化学分析および干渉センサ用のオプトフルイディクスシステムなどである。また,ナノ構造による光MEMSの増強は,フォトニック結晶と超小型光共振器に基づく光ナノシステムの開発に至った。

シソーラス用語： *MEMS ,  *反射鏡 ,  マイクロレンズ ,  フルイディクス ,  結晶 ,  微小共振器 ,  *集積光学 ,  光学 ,  技術史 ,  センサ ,  光通信 ,  フォトニック結晶 ,  MEMSセンサ ,  オプトフルイディクス ,  *マイクロミラー ,  微小光学
準シソーラス用語： マイクロオプティクス ,  マイクロキャビティ ,  *光MEMS ,  光ファイバ通信

分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (2件)： 光MEMS ,  マイクロミラー