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J-GLOBAL ID：201402297349067492   整理番号：13A1951413

マイクロマシニングした半楕円圧電体ドームによるモノリシック超音波集積回路

Monolithic ultrasonic integrated circuits based on micromachined semi-ellipsoidal piezoelectric domes

著者 (7件)： HAJATI Arman (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA) ,  LATEV Dimitre (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA) ,  GARDNER Deane (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA) ,  OTTOSSON Mats (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA) ,  IMAI Darren (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA) ,  TORREY Marc (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA) ,  SCHOEPPLER Martin (FUJIFILM Dimatix, Inc., 2250 Martin Ave., Santa Clara, California 95050, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 103  号： 20  ページ： 202906-202906-4  発行年： 2013年11月11日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *圧電体 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ドーピング ,  ニオブ ,  *誘電体薄膜 ,  楕円形 ,  超音波振動 ,  *音響共振器 ,  ドーム構造 ,  マイクロマシニング ,  集積 ,  共振周波数 ,  振動モード ,  広帯域 ,  共振器 ,  感度 ,  反射率
準シソーラス用語： 集積化 ,  多重共振器 ,  反射係数

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロマシニング ,  半楕円 ,  圧電体 ,  ドーム ,  超音波 ,  集積回路