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J-GLOBAL ID：201402297359247502   整理番号：14A1326652

Si(100)基板上への結晶配向γ-Al₂O₃薄膜とCMOS回路のインテグレーション及びその評価

著者 (3件)： 大石浩史 (豊橋技科大) ,  石田誠 (豊橋技科大) ,  赤井大輔 (EIIRIS)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 31st  ページ： ROMBUNNO.22AM2-A3  発行年： 2014年 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  基板 ,  結晶方位 ,  *薄膜 ,  半導体 ,  積分 ,  評価 ,  *CMOS
準シソーラス用語： *インテグレーション ,  *シリコン(100) ,  結晶配向

分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si ,  結晶配向 ,  γ-AL2O3 ,  薄膜 ,  CMOS回路 ,  インテグレーション ,  評価