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J-GLOBAL ID：201402298357239177   整理番号：14A1326503

超薄膜Pt/Tiを用いたブリッジ型水素センサの開発

著者 (7件)： 菅井良祐 (岡山大) ,  武市修蔵 (岡山大) ,  牛田祐貴 (岡山大) ,  井並祥太 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 31st  ページ： ROMBUNNO.20PM1-B4  発行年： 2014年 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  白金 ,  チタン ,  *超薄膜 ,  *ブリッジ回路 ,  変化 ,  電流 ,  温度補償 ,  白金触媒 ,  パラジウム ,  パルス電流 ,  *水素センサ
準シソーラス用語： Pd ,  Ti ,  抵抗変化

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超薄膜 ,  Pt ,  Ti ,  ブリッジ ,  水素センサ ,  開発