特許
J-GLOBAL ID:201403001597800802

CO2レーザーモニター装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 堀 城之 ,  前島 幸彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-270516
公開番号(公開出願番号):特開2014-115224
出願日: 2012年12月11日
公開日(公表日): 2014年06月26日
要約:
【課題】低コストでCO2レーザー光のモニターを行う。【解決手段】CO2レーザー光100は、回折格子13に入射して回折される。この際、回折角度は波長により異なる。回折光101〜103は、光検出板14に入射する設定とされる。光検出板14は、可視光を発する蛍光板あるいは蓄光板であり、表面から蛍光あるいは燐光を発するが、この蛍光あるいは燐光の強度は、表面に入射した赤外光の強度によって変化する。このため、光検出板14の表面に入射した赤外光ビームを、蛍光あるいは燐光の強度むらとして認識することができる。この状況は、撮像装置15で撮像することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
CO2(炭酸ガス)レーザー光の光軸及びスペクトルを計測するCO2レーザーモニター装置であって、 前記CO2レーザー光を回折する回折格子と、 表面から蛍光又は燐光を発し、前記回折格子で回折された前記CO2レーザー光によって前記表面が照射され、前記蛍光又は燐光の発光強度が温度によって変動する光検出板と、 前記光検出板の表面を撮像する撮像装置と、 を具備することを特徴とするCO2レーザーモニター装置。
IPC (3件):
G01J 1/58 ,  G01J 1/02 ,  G01J 3/18
FI (4件):
G01J1/58 ,  G01J1/02 H ,  G01J1/02 K ,  G01J3/18
Fターム (13件):
2G020AA03 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC02 ,  2G020CD06 ,  2G020CD26 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065AB09 ,  2G065BA06 ,  2G065BA29 ,  2G065BB28 ,  2G065BB50
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献:
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