特許
J-GLOBAL ID：201403002655774635
放電開始を判定する機能を有するガスレーザ発振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 島田 哲郎
, 三橋 真二
, 西村 隆一
, 廣瀬 繁樹
, 前島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-063776
公開番号（公開出願番号）：特開2014-192199
出願日： 2013年03月26日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
要約：
【課題】レーザ待機状態からレーザ運転状態へと短時間で移行可能なガスレーザ発振器を提供する。【解決手段】レーザガスが循環するガス流路10に設けられた放電管11〜14と、電源出力指令を出力する出力指令部41と、電源出力指令値Sに応じた放電管電圧Vを放電管11〜14に印加する電源部2と、放電管電圧Vを検出する電圧検出部271,272と、放電管電圧Vの変化割合に基づき放電管11〜14で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部3とを備える。出力指令部41は、電源部2が電源出力指令に対し応答するまでに要する時間を基準として定めたステップ時間幅Δtで、かつ、予め定めた基準となる放電開始電圧に対応する電源出力指令値Saを2以上のステップ数で除算した電源出力指令値Sの上げ幅ΔSで、電源出力指令値Sをステップ状に上昇させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザガスが循環するガス流路に設けられた放電管と、
電源出力指令を出力する出力指令部と、
前記出力指令部から出力された電源出力指令値に応じた放電管電圧を前記放電管に印加する電源部と、
前記放電管電圧を検出する電圧検出部と、
前記出力指令部から出力された電源出力指令値に対する前記電圧検出部で検出された放電管電圧の変化割合に基づき、前記放電管で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部と、を備え、
前記出力指令部は、前記電源部が前記電源出力指令に対し応答するまでに要する時間を基準として定めたステップ時間幅で、かつ、予め定めた基準となる放電開始電圧に対応する電源出力指令値を2以上のステップ数で除算した電源出力指令値の上げ幅で、前記電源出力指令値をステップ状に上昇させることを特徴とするガスレーザ発振器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5F071AA05
, 5F071EE03
, 5F071EE04
, 5F071GG02
, 5F071HH02
, 5F071JJ05
, 5F071JJ10
, 5F172AD05
, 5F172CC09
, 5F172EE22
, 5F172NN34
, 5F172NP13
, 5F172NP16
, 5F172NQ05
