特許
J-GLOBAL ID：201103006316850849
放電開始を判定する機能を有するガスレーザ発振器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 廣瀬 繁樹
, 西村 隆一
, 前島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-087107
公開番号（公開出願番号）：特開2011-222586
出願日： 2010年04月05日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：
【課題】放電管に過度の電圧を印加せずに放電を開始させることができるとともに、該放電の開始を迅速かつ正確に判定できるガスレーザ発振器を提供する。【解決手段】ガスレーザ発振器(10)は、各ステップの先頭にパルスを重畳してなる電源出力指令を作成する電源出力指令部(16)と、電源出力指令に従って放電管に電圧を印加する電圧印加部(29)と、放電管(26)の電圧を検出する放電管電圧検出部(28)と、放電管の電圧を監視する放電管電圧モニタ部(30)と、電源出力指令に対する監視された放電管の電圧の変化割合と、放電管において放電が正常に行われているときのデータに基づいて予め定められる、電源出力指令に対する放電管の電圧の変化割合との差分が予め定めた閾値以内になったときに、放電が開始したと判定する放電開始判定部(CNC)(12)とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の時間間隔でステップ状に上昇する第1の電源出力指令の各ステップの先頭部分に、前記第1の電源出力指令よりも大きい第2の電源出力指令を前記第1の時間間隔より短い第2の時間間隔だけ重畳した電源出力指令を作成する電源出力指令部と、
前記電源出力指令部により指令された前記電源出力指令に従って放電管に電圧を印加する電圧印加部と、
前記電圧印加部により電圧が印加されているときの前記放電管の電圧を検出する放電管電圧検出部と、
前記放電管電圧検出部によって検出した前記放電管の電圧を監視する放電管電圧モニタ部と、
前記放電管電圧モニタ部によって監視された、電源出力指令に対する前記放電管の電圧の変化割合と、前記放電管において放電が正常に行われているときのデータに基づいて予め定められる、電源出力指令に対する前記放電管の電圧の変化割合との差分が予め定めた閾値以内になったときに、前記放電管において放電が開始したと判定する放電開始判定部と、
を備えたガスレーザ発振器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F071AA05
, 5F071EE03
, 5F071GG02
, 5F071HH02
, 5F071HH03
, 5F071JJ05
出願人引用 (6件)
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特開平4-236476
-
レーザ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-249683
出願人：株式会社小松製作所
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特開平2-126690
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審査官引用 (6件)
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特開平4-236476
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レーザ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-249683
出願人：株式会社小松製作所
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特開平2-126690
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