特許
J-GLOBAL ID：201403004621066995
酸化亜鉛スパッタリングターゲットとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-205753
公開番号（公開出願番号）：特開2014-058731
出願日： 2012年09月19日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】ドーパントである酸化アルミニウムの添加量が0.10質量%以下と少量にも拘らず相対密度が95%以上である酸化亜鉛スパッタリングターゲットとその製造方法を提供する。【解決手段】このターゲットは、酸化亜鉛を主成分とし、0.10質量%以下の酸化アルミニウムを含有する酸化物焼結体で構成され、酸化物焼結体の相対密度が95%以上であることを特徴とし、以下の方法すなわち、酸化亜鉛粉末単体または酸化亜鉛粉末と酸化アルミニウム粉末を、純水、有機バインダー、分散剤と混合してスラリーを調製し、かつ、得られたスラリーを、乾燥、造粒する第一工程と、第一工程で得られた造粒粉を、加圧成形して成形体を得る第二工程と、第二工程で得られた成形体を焼成し、酸化物焼結体を得る第三工程とを備え、第三工程における焼結温度を900〜1150°Cの範囲とし、40〜60時間焼成することにより製造できる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛から成る酸化物焼結体で構成され、かつ、酸化物焼結体の相対密度が95%以上であることを特徴とする酸化亜鉛スパッタリングターゲット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/34 A
, C04B35/00 P
4G030AA32
, 4G030AA36
, 4G030BA02
, 4G030BA15
, 4G030CA07
, 4G030GA04
, 4G030GA05
, 4G030GA14
, 4G030GA16
, 4G030GA19
, 4G030GA22
, 4G030GA23
, 4G030GA27
, 4K029BA49
, 4K029CA05
, 4K029DC05
, 4K029DC07
, 4K029DC09
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
