特許
J-GLOBAL ID：201403004624968302

移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者：
新井 洋一

新井 洋一 について

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森本 樹

森本 樹 について

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ファーランド ミシェル

ファーランド ミシェル について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-222686
公開番号（公開出願番号）：特開2014-087257
出願日： 2013年10月25日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：
【課題】平面モータを含むウエハステージ装置の構成を簡単にする。【解決手段】 ウエハステージ装置20の定盤30は、ウエハステージ24を駆動するための平面モータを構成するコイルユニット50が有する入力用コネクタに接続可能な出力用コネクタを複数のコイルユニット50に対応して複数有し、入力用及び出力用コネクタを介して複数のコイルユニット50に電力を分配するマザーボード36と、マザーボード36に重ねて配置され、コイルユニット50が有する第1ジョイントに接続可能な第2ジョイントを複数のコイルユニットに対応して複数有し、第1及び第2ジョイントを介して複数のコイルユニット50に冷媒を分配するマニホールドプレート34と、を備え、複数のコイルユニット50は、マザーボード36の一面に沿って規則的に配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のコイルユニットを有するベース部材と、磁石ユニットを有する移動体と、前記磁石ユニットと該磁石ユニットに対応する前記コイルユニットとの相互作用により前記移動体を前記ベース部材上で少なくとも所定の2次元平面内の一軸方向に駆動する電磁アクチュエータと、を含む移動体装置であって、 前記ベース部材は、 前記コイルユニットが有する入力用コネクタに接続可能な出力用コネクタを前記複数のコイルユニットに対応して複数有し、前記入力用及び出力用コネクタを介して前記複数のコイルユニットに電力を分配する電力分配部材と、 前記電力分配部材に重ねて配置され、前記コイルユニットが有する第1ジョイントに接続可能な第2ジョイントを前記複数のコイルユニットに対応して複数有し、前記第1及び第2ジョイントを介して前記複数のコイルユニットに冷媒を分配する冷媒分配部材と、を備え、 前記複数のコイルユニットは、前記電力分配部材、又は前記冷媒分配部材の一面に沿って規則的に配置される移動体装置。
IPC (5件)：
H02K 41/03 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02K 9/19 ,  H02K 5/20
FI (5件)：
H02K41/03 A ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/68 K ,  H02K9/19 A ,  H02K5/20
Fターム (39件)：
5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131BA13 ,  5F131CA37 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB87 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131EB82 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KB12 ,  5F146CC01 ,  5F146CC03 ,  5H605BB10 ,  5H605CC01 ,  5H605CC02 ,  5H605DD13 ,  5H609BB08 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ04 ,  5H609QQ08 ,  5H609RR37 ,  5H609RR41 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641HH03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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