特許
J-GLOBAL ID：201403005173192913

原子層成膜のための装置

発明者：
アドリアヌス・ヨハネス・ペトルス・マリア・フェルメール

アドリアヌス・ヨハネス・ペトルス・マリア・フェルメール について


出願人/特許権者：
ネーデルランドセ・オルガニサティ・フォール・トゥーヘパスト-ナトゥールウェテンスハッペライク・オンデルズーク・テーエヌオー

ネーデルランドセ・オルガニサティ・フォール・トゥーヘパスト-ナトゥールウェテンスハッペライク・オンデルズーク・テーエヌオー について


代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-551934
公開番号（公開出願番号）：特表2014-508221
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
前駆体供給部及び前駆体排出部が提供される成膜空間を備える導入ヘッドであって、供給部及び排出部が、前駆体供給部から排出空間を介して前駆体排出部へ前駆体ガス流動を提供するように配置され、使用時には成膜空間が導入ヘッド及び基板表面によって画定される導入ヘッド;導入ヘッドと基板表面との間に、ガスベアリングを形成するベアリングガスを導入するように構成されたベアリングガス導入部を備えるガスベアリング;基板が搬送される搬送平面を形成する平面に沿った基板及び導入ヘッドの相対移動を提供する搬送システムを備える、薄板状の基板の表面上への原子層成膜のための装置である。支持部は、導入ヘッドと対向して配置され、搬送平面内に導入ヘッドガスベアリングと均衡するガスベアリング圧力構成を提供するように構成された支持部であって、基板が、導入ヘッドと支持部との間でガスベアリング圧力構成によって支持されることなく均衡される。
請求項（抜粋）：
前駆体供給部及び前駆体排出部が提供される成膜空間及びガスベアリングを備える導入ヘッドであって、前記供給部及び前記排出部が、前記前駆体供給部から前記成膜空間を介して前記前駆体排出部へ前駆体ガス流動を提供するように配置され、使用時には前記成膜空間が前記導入ヘッド及び基板表面によって画定され、前記ガスベアリングが、前記導入ヘッドと前記基板表面との間に、ガスベアリングを形成するベアリングガスを導入するように構成されたベアリングガス導入部を備える、導入ヘッド; 前記導入ヘッドと対向して配置され、搬送平面内に導入ヘッドガスベアリング圧力に対抗するガスベアリング圧力構成を提供するように構成された支持部であって、前記基板が、前記導入ヘッドと前記支持部との間で前記ガスベアリング圧力構成によって、支持されることなく均衡される、支持部;並びに 搬入領域(15)及び駆動部(18)を備える搬送システムであって、前記駆動部が、前記基板が搬送される搬送平面を形成する前記基板の平面に沿った前記基板及び前記導入ヘッドの相対移動を提供するように配置された搬送要素を備え、前記搬入領域が、前記搬送平面に対して対称的に配置され前記駆動部の方へ向かう第1の搬送方向における前記搬送平面上の稼働高さを減少させるように構築された勾配を有する壁部を備え、スリット状の放出部が前記勾配を有する壁部と前記駆動部とを橋渡しして配置され、前記スリット状の放出部が、前記第1の搬送方向を横切って前記搬入領域に渡って延設し、前記基板に沿って前記スリット状の放出部の外にガス流動を提供するガス流動供給部が、前記第1の搬送方向に対向する高衝撃粒子除去ガス流動を提供する搬送システムを備える、薄板状の基板の表面上への原子層成膜のための装置。
IPC (5件)：
C23C 16/44 ,  C23C 16/455 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/316 ,  C23C 16/458
FI (6件)：
C23C16/44 F ,  C23C16/455 ,  H01L21/31 B ,  H01L21/31 C ,  H01L21/316 X ,  C23C16/458
Fターム (38件)：
4K030AA03 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA24 ,  4K030BA10 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030CA17 ,  4K030FA01 ,  4K030FA07 ,  4K030FA08 ,  4K030FA10 ,  4K030GA01 ,  4K030GA12 ,  4K030HA01 ,  4K030JA03 ,  4K030KA41 ,  4K030LA15 ,  4K030LA16 ,  5F045AA08 ,  5F045AA15 ,  5F045AB31 ,  5F045AC03 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045CA05 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ12 ,  5F045EF01 ,  5F045EF08 ,  5F045EF09 ,  5F045EN04 ,  5F058BC03 ,  5F058BF06 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BG04 ,  5F058BJ01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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