アンダーサンプリング法に基づく絶対距離計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505197
公開番号（公開出願番号）：特表2014-516410
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：

寸法計測装置及びターゲットを備える寸法計測システムであって、その周波数差がRF信号周波数の1/2未満である変調用のRF信号及びサンプリング用の信号を発生させ、サンプリング用の信号を第1及び第2アナログディジタル変換器(ADCチャネル)、変調用のRF信号を発光用の光源に送る信号発生器と、光源出射光の一部分を基準用光検波器、他部分を寸法計測装置外に送り、離れた場所にある再帰反射ターゲットから返戻されてきた光を計測用光検波器に送る光学系と、送られてきた光をそれぞれ電気的な基準信号,計測信号に変換する基準用,計測用光検波器と、計測用光検波器から来る計測信号をディジタル計測値群に変換する第1ADCチャネルと、基準用光検波器から来る基準信号をディジタル基準値群に変換する第2ADCチャネルと、ディジタル計測値群及びディジタル基準値群を受け取り寸法計測装置からターゲットまでの距離を算出するプロセッサと、を備える。

請求項（抜粋）：

寸法計測装置(10)及びターゲット(26)を備える寸法計測システム(5)であって、第1モードで稼働する際、第1周波数を有する第1電気信号(2991)、並びに第1周波数による商が2未満且つ第1周波数とは異なる第2周波数を有する第2電気信号(2992)を発生させる信号発生器(2920)と、光を発する光源(2930)と、光源出射光を組成しておりその光学特性が第1周波数で変調されている第1及び第2部分のうち、第1部分を第1光ビーム(46)として上記寸法計測装置外、第2部分を基準用光検波器(2940)に送る光学系と、第1光ビームを受け光学系に第2光ビーム(47)を返戻することで上記ターゲットとして働く再帰反射器と、光源出射光の第2部分を上記光学系を介し受光し電気的な第1基準信号に変換する基準用光検波器(2940)並びに第2光ビームの一部分たる第3部分を上記光学系を介し受光し電気的な第1計測信号に変換する計測用光検波器(2950)と、第1モードで稼働する際、第2電気信号及び第1計測信号を受け取り、第1周波数を有する第1計測信号を第2周波数と等レートの第1ディジタル計測値群へと変換する第1アナログディジタル変換器チャネル(2960)と、第1モードで稼働する際、第2電気信号及び第1基準信号を受け取り、第1周波数を有する第1基準信号を第2周波数と等レートの第1ディジタル基準値群へと変換する第2アナログディジタル変換器チャネル(2961)と、第1モードで稼働する際、上記寸法計測装置から上記ターゲットまでの距離(2995)を、第1及び第2周波数、第1ディジタル計測値群、第1ディジタル基準値群及び気中光速に照らし又は基づき算出するプロセッサ(2970)と、を備える寸法計測システム。

IPC (3件)：

G01C 15/00 , G01B 11/03 , G01S 17/36

FI (4件)：

G01C15/00 103D , G01B11/03 Z , G01S17/36 , G01C15/00 103E

Fターム (59件)：

2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA21 , 2F065BB05 , 2F065BB28 , 2F065DD03 , 2F065DD11 , 2F065FF13 , 2F065FF15 , 2F065FF43 , 2F065FF61 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065GG22 , 2F065HH03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ16 , 2F065JJ18 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065LL36 , 2F065LL50 , 2F065MM08 , 2F065MM15 , 2F065MM25 , 2F065MM28 , 2F065PP05 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065UU05 , 2F065UU07 , 5J084AA04 , 5J084AA13 , 5J084AD02 , 5J084BA04 , 5J084BA11 , 5J084BA33 , 5J084BA36 , 5J084BA52 , 5J084BA57 , 5J084BB02 , 5J084BB10 , 5J084BB14 , 5J084BB16 , 5J084BB31 , 5J084BB40 , 5J084CA07 , 5J084CA24 , 5J084CA32 , 5J084CA42 , 5J084CA49 , 5J084DA02 , 5J084EA01 , 5J084EA04

引用特許：

審査官引用 (2件)

光波測距装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-177445 出願人：北陽電機株式会社
2種類の波長を使う干渉計システム、およびそのようなシステムを備えるリソグラフィー装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平11-533522 出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ

引用文献：

審査官引用 (2件)

Super-Nyquist operation of the AD9912 yields a high RF output signal
Super-Nyquist operation of the AD9912 yields a high RF output signal

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