特許
J-GLOBAL ID:201403006125560680
固体撮像素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-207783
公開番号(公開出願番号):特開2014-063865
出願日: 2012年09月21日
公開日(公表日): 2014年04月10日
要約:
【課題】波長毎の感度特性のばらつきを低減することができ、感度の向上を図ることが可能となる固体撮像素子を提供する。【解決手段】複数の画素を備え、前記複数の画素は異なる波長に対応する画素で構成され、 前記複数の画素における各々の画素は、光の入射側から、カラーフィルタ、光電変換特性を示す半導体基板、配線層、を有している固体撮像素子であって、 前記半導体基板の厚みが、前記異なる波長に対応する画素における長波長側に対応する画素よりも、短波長側に対応する画素の方が薄い厚みに構成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の画素を備え、前記複数の画素は異なる波長に対応する画素で構成され、
前記複数の画素における各々の画素は、光の入射側から、カラーフィルタ、光電変換特性を示す半導体基板、配線層、を有している固体撮像素子であって、
前記半導体基板の厚みが、前記異なる波長に対応する画素における長波長側に対応する画素よりも、短波長側に対応する画素の方が薄い厚みに構成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (4件):
H01L 27/146
, H01L 27/14
, H01L 31/10
, H04N 5/369
FI (4件):
H01L27/14 A
, H01L27/14 D
, H01L31/10 A
, H04N5/335 690
Fターム (30件):
4M118AA01
, 4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA09
, 4M118CA03
, 4M118CA18
, 4M118CA27
, 4M118CA33
, 4M118CA34
, 4M118CB14
, 4M118EA14
, 4M118FA06
, 4M118FA25
, 4M118FA26
, 4M118GA02
, 4M118GC08
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 4M118GD10
, 4M118GD11
, 5C024CX41
, 5C024EX43
, 5C024EX52
, 5C024GX24
, 5F049MA02
, 5F049MB03
, 5F049NA10
, 5F049NB05
, 5F049RA03
, 5F049SS03
引用特許:
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