特許
J-GLOBAL ID：201403006130778465

レーザー加工装置

発明者：
能丸 圭司

能丸 圭司 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-138049
公開番号（公開出願番号）：特開2014-000588
出願日： 2012年06月19日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：
【課題】複数に分岐されたレーザー光線の複数の集光スポット(集光点)の間隔を容易に調整することができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】レーザー光線分岐機構8は、1/2波長板81と、第1のビームスプリッター82と、第1のミラー83と、第2のミラー84と、第1のミラーと第2のミラーで反射されたP偏光とS偏光を同一方向の光路に導く第2のビームスプリッター85と、第1のミラーと該第2のミラーで反射されるP偏光とS偏光の少なくとも一方の第2のビームスプリッターに入光せしめる角度を調整する角度調整手段840とを備えた分岐ユニットを具備し、角度調整手段によって該第1のミラーと該第2のミラーで反射されたP偏光とS偏光の第2のビームスプリッターに入光せしめる角度を調整することにより集光器7によって集光されるP偏光とS偏光とからなる複数のレーザー光線の集光点の間隔が調整される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段を加工送り方向に相対移動する加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、 該レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振するレーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線を集光して該チャックテーブルに保持された被加工物に照射する集光器と、該レーザー光線発振手段と該集光器との間に配設され該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線を複数のレーザー光線に分岐するレーザー光線分岐機構と、を具備し、 該レーザー光線分岐機構は、該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線の偏向面を45度傾ける1/2波長板と、該1/2波長板を通過したレーザー光線をP偏光とS偏光に分離する第1のビームスプリッターと、該第1のビームスプリッターで分離されたP偏光を反射する第1のミラーと、該第1のビームスプリッターで分離されたS偏光を反射する第2のミラーと、該第1のミラーと該第2のミラーで反射されたP偏光とS偏光を同一方向の光路に導く第2のビームスプリッターと、該第1のミラーと該第2のミラーで反射されるP偏光とS偏光の少なくとも一方の該第2のビームスプリッターに入光せしめる角度を調整する角度調整手段とを備えた分岐ユニットを具備し、該角度調整手段によって該第1のミラーと該第2のミラーで反射されたP偏光とS偏光の該第2のビームスプリッターに入光せしめる角度を調整することにより該集光器によって集光されるP偏光とS偏光とからなる複数のレーザー光線の集光点の間隔が調整される、 ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/067 ,  B23K 26/064 ,  B23K 26/364 ,  H01L 21/301
FI (4件)：
B23K26/067 ,  B23K26/06 Z ,  B23K26/00 D ,  H01L21/78 B
Fターム (10件)：
4E068AD01 ,  4E068CA03 ,  4E068CA07 ,  4E068CB02 ,  4E068CB10 ,  4E068CC02 ,  4E068CD04 ,  4E068CD08 ,  4E068DA10 ,  4E068DB11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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