特許
J-GLOBAL ID:201403006682168734
検査ガスの添加無しの、寸法的に安定な/緩んだパッケージの漏れの迅速な検出
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
田中 光雄
, 山崎 宏
, 前堀 義之
, 仲倉 幸典
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-541592
公開番号(公開出願番号):特表2014-533825
出願日: 2012年10月25日
公開日(公表日): 2014年12月15日
要約:
本発明は、被検査物12上の漏れ検出のための装置であって、被検査物12のための排気可能な検査チャンバ14を有するものに関する。検査チャンバは、フレキシブルな、特に弾性材料からなる少なくとも1つの壁領域を備えている。より正確な漏れ検出のために、検査チャンバの内部の全圧上昇の進行が測定される。
請求項(抜粋):
被検査物(12)上の漏れ検出のための装置であって、
被検査物(12)のための排気可能な検査チャンバ(14)を有し、
上記検査チャンバ(14)は、特に弾性材料からなるフレキシブルな少なくとも1つの壁領域を有し、
上記装置は、上記検査チャンバ(14)の内部の全圧上昇の進行を決定するための測定手段(32)を備えることを特徴とする装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2G067AA47
, 2G067BB04
, 2G067BB25
, 2G067DD02
引用特許: