特許
J-GLOBAL ID：201403007163009510

電子デバイス製造において基板を輸送するように構成されるロボットシステム、装置及び方法

発明者：
ブロダイン, ジェフリー エー.

ブロダイン, ジェフリー エー. について

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ハジェンズ, ジェフリー シー.

ハジェンズ, ジェフリー シー. について

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クレマーマン, イズヤ

クレマーマン, イズヤ について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-525038
公開番号（公開出願番号）：特表2014-522742
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
基板輸送システム、装置及び方法が記述される。そのシステムは、ブームリンケージを目的地に隣接する位置まで回転させ、その後、上側アームリンクハウジング及び1つ又は複数のリスト部材を独立して作動させて、目的地において1つ又は複数の基板を置くか、又は取り出すことによって目的地において基板を効率的に置くか、又は取り出すように構成され、リスト部材は前側アームリンクハウジングに対して独立して作動し、前側アームリンク部材の運動は上側アームリンクハウジングの運動に運動学的に結び付けられる。数多くの他の態様も提供される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
チャンバ、及び 前記チャンバ内に収容され、基板を輸送するように構成されるロボット装置 を備える電子デバイス処理システムであって、前記ロボット装置は、 第1の回転軸の回りを回転するように構成されるブームリンケージと、 前記第1の回転軸からオフセットされた第1の径方向位置において前記ブームリンケージに結合される上側アームリンクハウジングであって、前記上側アームリンクハウジングは前記第1の径方向位置において第2の回転軸の回りを回転するように構成される、上側アームリンクハウジングと、 前記第2の回転軸から離間した第2の位置において前記上側アームリンクハウジングに結合され、前記第2の位置において第3の回転軸の回りを前記上側アームリンクハウジングに対して回転するように構成される前側アームリンクハウジングと、 前記前側アームリンクハウジングに結合され、第4の回転軸の回りを前記前側アームリンクハウジングに対して回転するように構成されるリスト部材であって、前記リスト部材はエンドエフェクタに結合するように構成され、前記エンドエフェクタは基板を搬送するように構成される、リスト部材と、 前記ブームリンケージに固く結合され、前記上側アームリンクハウジングを貫通して延在する前側アーム駆動要素を有する前側アームドライバ部材であって、前記前側アーム駆動要素は前記前側アームリンクハウジングの被駆動部材に結合される、前側アームドライバ部材と を含む、電子デバイス処理システム。
IPC (3件)：
B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
B25J9/06 D ,  B65G49/07 D ,  H01L21/68 A
Fターム (44件)：
3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707BS26 ,  3C707CT04 ,  3C707CU05 ,  3C707CV07 ,  3C707CW07 ,  3C707CY03 ,  3C707CY36 ,  3C707HS27 ,  3C707HT02 ,  3C707HT19 ,  3C707HT22 ,  3C707HT23 ,  3C707NS12 ,  5F131AA02 ,  5F131BA01 ,  5F131BA11 ,  5F131BA17 ,  5F131BA32 ,  5F131BA37 ,  5F131BB04 ,  5F131CA32 ,  5F131CA38 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DA43 ,  5F131DB02 ,  5F131DB04 ,  5F131DB12 ,  5F131DB23 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB76 ,  5F131DB82 ,  5F131DB88 ,  5F131DB92 ,  5F131DB93 ,  5F131GA14 ,  5F131HA12 ,  5F131JA08 ,  5F131JA33
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)

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