特許

J-GLOBAL ID：201403008670326744

光照射装置

発明者： 千賀 岳人
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-008064
公開番号（公開出願番号）：特開2014-139874
出願日： 2013年01月21日
公開日（公表日）： 2014年07月31日
要約：

【課題】発光管の上下外面上に一対の外部電極を配置してなるエキシマランプと、該エキシマランプを収容すると共に下方に光取出し開口が設けられたハウジングとを備え、前記一対の外部電極のうち被処理体と対向する下方の外部電極には低電圧が印加され、上方の外部電極には高電圧が印加されてなる光照射装置において、一対の外部電極間に形成される電界の影響で、被処理体上の配線パターンに異常放電が発生して損傷されることを防止した構造を提供することである。【解決手段】前記ハウジングの光取出し開口に、前記高圧側の外部電極と被処理体との間であって、前記エキシマランプの長手方向に沿う位置に、前記高圧側の外部電極と前記低圧側の外部電極との間に形成される電界を遮蔽する電界遮蔽部材を備えていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

発光ガスを封入した発光管の上下外面上に一対の外部電極を配置してなるエキシマランプと、該エキシマランプを収容すると共に下方に光取出し開口が設けられたハウジングとを備え、前記一対の外部電極のうち被処理体と対向する下方の外部電極には低電圧が印加され、上方の外部電極には高電圧が印加されてなる光照射装置において、 前記ハウジングの光取出し開口に、前記高圧側の外部電極と被処理体との間であって、前記エキシマランプの長手方向に沿う位置に、前記高圧側の外部電極と前記低圧側の外部電極との間に形成される電界を遮蔽する電界遮蔽部材を備えていることを特徴とする光照射装置。

IPC (3件)：

H01J 65/00 ,  H01J 61/52 ,  F21S 2/00

FI (3件)：

H01J65/00 B ,  H01J61/52 N ,  F21S2/00 680

Fターム (1件)：

3K243MA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• エキシマランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-300559   出願人：ウシオ電機株式会社
• 除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-282144   出願人：浜松ホトニクス株式会社

審査官引用 (2件)

• エキシマランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-300559   出願人：ウシオ電機株式会社
• 除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-282144   出願人：浜松ホトニクス株式会社