特許
J-GLOBAL ID：201403008826131280
長尺樹脂フィルムの冷却装置と冷却方法および長尺樹脂フィルムの表面処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-274664
公開番号（公開出願番号）：特開2014-118607
出願日： 2012年12月17日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：
【課題】大規模な改造、改変を加えることなく真空チャンバー内に冷却ロール等を付設できる長尺樹脂フィルムの冷却装置を提供する。【解決手段】案内ロール435を介し長尺フィルム413が巻き付け領域に巻き付けられかつ案内ロール438を介し巻き付け領域から搬出される回転ロール436と、巻き付け領域に巻き付けられたフィルム413を冷却する冷却手段を真空チャンバー内に備える冷却装置であって、冷却手段が、フィルム413の巻き付け領域とは反対側に位置する回転ロール436外周面の非巻き付け領域近傍に配置されかつ130K以下に冷却可能な冷凍機を有する冷却パネル439と、回転ロール436外周面の非巻き付け領域と冷却パネル439との間に冷却ガスを導入する冷却ガス導入手段とで構成されることを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
上流側からロール・ツー・ロール方式により搬送される長尺樹脂フィルムが搬入側案内ロールを介して外周面の巻き付け領域に巻き付けられると共に搬出側案内ロールを介して上記外周面の巻き付け領域から下流側へ搬出される回転ロールと、回転ロール外周面の巻き付け領域に巻き付けられた回転ロール上の長尺樹脂フィルムを冷却する冷却手段とを真空チャンバー内に備える長尺樹脂フィルムの冷却装置において、
上記冷却手段が、回転ロール外周面と搬入側案内ロール並びに搬出側案内ロールの各外周面とで区画される空間領域内に設けられかつ長尺樹脂フィルムの上記巻き付け領域とは反対側に位置する回転ロール外周面の非巻き付け領域近傍に配置されると共に130K以下に冷却可能な冷凍機を有する冷却パネルと、回転ロール外周面の上記非巻き付け領域と冷却パネルとの間に冷却ガスを導入する冷却ガス導入手段とで構成されることを特徴とする長尺樹脂フィルムの冷却装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA25
, 4K029BB02
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029FA01
, 4K029FA06
, 4K029JA00
, 4K029JA10
, 4K029KA03
