特許
J-GLOBAL ID：201403011183252469
移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及びパターン形成装置、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-093747
公開番号（公開出願番号）：特開2012-208937
特許番号：特許第5477726号
出願日： 2012年04月17日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 移動体を少なくとも一軸方向に駆動する移動体駆動方法であって、
前記移動体上面に所定方向を周期方向として配置された格子に検出光を照射してその反射光に基づいて前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測するエンコーダの計測値と、前記格子のピッチの補正情報と、前記格子を構成する格子線の変形の補正情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する工程を含む移動体駆動方法。
IPC (4件)：
G05D 3/12 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
, G03F 9/00 ( 200 6.01)
G05D 3/12 H
, H01L 21/30 503 A
, H01L 21/68 K
, G03F 9/00 A
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (8件)
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