特許

J-GLOBAL ID：200903043693112300

ワークステージ及びその位置測定方法、並びにこれを備えた露光装置

発明者： 今井 克喜
出願人/特許権者： 日本精工株式会社 ,  NSKプレシジョン株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-145198
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349494
出願日： 2003年05月22日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】レーザー光の不都合や機械的な熱変形等が発生しても常に正確な位置決めを行うことができる新規なワークステージ及び露光装置の提供。【解決手段】ワークを保持したテーブルの位置を測定すると共にこれとは別に上記テーブルの位置をレーザー測長器で測定してそれぞれ位置データを取得した後、それらデータを比較してその誤差が所定の範囲内の時は上記レーザー測長器による位置データの値を採用し、その誤差が所定の範囲を越える時は再度新たな位置データの取得を行う。これによって、レーザー光の不都合や機械的な熱変形等が発生しても常に正確な位置決めを行うことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ワークを保持したテーブルを任意の方向に移動して位置決めを行うようにしたワークステージにおいて、 上記テーブルの位置をレーザ光を利用して測定するレーザー測長器と、このテーブルの位置決めのために使用される位置測定器とを備えると共に、上記レーザー測長器による位置データが正常であるか否かを判定し、正常と判定した場合に上記レーザー測長器で得られた位置データに基づいて上記テーブルの位置決めの誤差を求める制御部を備えたことを特徴とするワークステージ。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

FI (5件)：

H01L21/30 503A ,  G01B11/00 A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 F ,  H01L21/68 K

Fターム (27件)：

2F065AA03 ,  2F065FF06 ,  2F065FF15 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA07 ,  5F031LA08 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031MA27 ,  5F031PA10 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC16 ,  5F046DB05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 位置制御装置及びその制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-339086   出願人：富士通株式会社
• 露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-361889   出願人：株式会社ニコン
• 露光方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-171710   出願人：株式会社ニコン