特許
J-GLOBAL ID：201403011945181858

プラズマ処理装置

発明者：
奥西 直彦

奥西 直彦 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-106895
公開番号（公開出願番号）：特開2014-229426
出願日： 2013年05月21日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：
【課題】処理容器内の高周波電極その他の電気的部材から給電ラインや信号線等の線路上に入ってくる高周波のノイズを分布定数線路の多重並列共振特性を利用して遮断する場合に、高周波ノイズに対するインピーダンス機能や耐電圧特性を低下させずに、共振周波数を任意にシフトして調整または最適化すること。【解決手段】このフィルタユニットにおいては、巻線ピッチに関して、両ソレノイドコイル104(1),104(2)は、コイル軸方向において複数の区間K1,K2,・・に分割されており、各区間Ki(i=1,2,・・)毎に独立した巻線ピッチpiが選定される。ソレノイドコイル104(1),104(2)の周囲に設けられる複数本の棒状櫛歯部材114の内側面には、両ソレノイドコイル104(1),104(2)の巻線間に食い込む櫛歯Mが形成されている。【選択図】図4A
請求項（抜粋）：
プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる所定周波数の高周波ノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、 前記フィルタが、 前記線路の一部を構成する1個のソレノイドコイルと、 前記ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒形の外導体と を有し、 前記ソレノイドコイルが、軸方向において、巻線ピッチが異なる第1および第2の区間を有する、 プラズマ処理装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  H03H 7/01 ,  H01P 1/20
FI (6件)：
H05H1/46 M ,  H01L21/302 101B ,  H01L21/205 ,  H05H1/46 R ,  H03H7/01 Z ,  H01P1/20 B
Fターム (22件)：
5F004BA09 ,  5F004BB13 ,  5F004BB26 ,  5F045AA08 ,  5F045DP03 ,  5F045EH13 ,  5F045EH19 ,  5F045EH20 ,  5J006HD01 ,  5J006HD06 ,  5J006JA02 ,  5J006LA08 ,  5J006LA11 ,  5J006LA28 ,  5J024CA09 ,  5J024DA01 ,  5J024DA25 ,  5J024DA33 ,  5J024DA35 ,  5J024EA08 ,  5J024FA04 ,  5J024KA01
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-034492   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 多線条平衡通信線用EMCフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-133991   出願人：日本電信電話株式会社
  • プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-252645   出願人：東京エレクトロン株式会社
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