単粒子膜エッチングマスクを有する表面微細凹凸構造体形成用基板及び表面微細凹凸構造体。

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：金谷宥 , 船越巧子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-247186
公開番号（公開出願番号）：特開2014-057100
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：

【課題】単粒子が2次元に高精度に最密充填配列している単粒子膜からなるエッチングマスクを有する表面微細凹凸体形成用基板と該基板をエッチングして得られる表面微細凹凸構造体、該表面微細凹凸構造体からなる高効率・高精度なサブ波長反射防止微細構造面を有する太陽光発電パネルを提供する。【解決手段】基板表面に単粒子を2次元に最密充填配列して形成されている単粒子膜を該基板表面に固定手段により固定してなるエッチングマスクを有する表面微細凹凸構造体形成用基板、該基板をエッチングして得られる表面微細凹凸構造体、及び該表面微細凹凸構造体からなる高効率・高精度なサブ波長反射防止微細構造面を有する太陽光発電パネル。【選択図】図1

請求項（抜粋）：