特許
J-GLOBAL ID：201403016441149459

水晶振動素子及びその製造方法

発明者：
木崎 茂

木崎 茂 について


出願人/特許権者：
京セラクリスタルデバイス株式会社

京セラクリスタルデバイス株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-183051
公開番号（公開出願番号）：特開2014-042136
出願日： 2012年08月22日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
要約：
【課題】 一回のウェットエッチングで外形と溝部の両方を形成するための構造を、容易に製造し得る振動素子を提供する。【解決手段】 振動素子10は、基部11と、基部11から同一方向に延びる二本の振動腕部12,13と、振動腕部12,13に設けられた溝部14,15と、を備えている。溝部14には、振動腕部12の長手方向に延びつつ振動腕部12の短手方向に変化する波状の表側隔壁16A及び裏側隔壁16Bが設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基部と、この基部から同一方向に延びる二本の振動腕部と、これらの振動腕部に設けられた溝部と、を備えた水晶振動素子において、 前記溝部には、前記振動腕部の長手方向に延びつつ前記振動腕部の短手方向に変化する波状の隔壁が設けられた、 ことを特徴とする水晶振動素子。
IPC (6件)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (6件)：
H03H9/19 K ,  H03H3/02 D ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (5件)：
5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD05
引用特許：
審査官引用 (6件)
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