特許
J-GLOBAL ID：201403016790211013

波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

発明者：
新東 晋

新東 晋 について

, 
坂下 友樹

坂下 友樹 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-032936
公開番号（公開出願番号）：特開2014-164019
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
【課題】反射膜と接続電極との導通を確実にし、配線の接続信頼性を向上させる。【解決手段】第1駆動電極36の厚み寸法は、第1反射膜35の厚み寸法と第1導電膜37の厚み寸法との和よりも大きく形成され、第1駆動電極36は固定基板30の表面から第1導電膜37の外縁部の表面に延出して接触し、第2駆動電極46の厚み寸法は、第2反射膜45の厚み寸法と第2導電膜47の厚み寸法との和よりも大きく形成され、第2接続電極46は可動基板40の表面から第2導電膜47の外縁部の表面に延出して接触している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1基板と、 前記第1基板に対向する第2基板と、 前記第1基板に設けられ、入射した光の一部を反射し一部を透過する第1反射膜と、 前記第2基板に設けられ、入射した光の一部を反射し一部を透過する前記第1反射膜に対向して配置された第2反射膜と、 前記第1反射膜に積層される導電性の第1導電膜と、 前記第2反射膜に積層される導電性の第2導電膜と、 前記第1基板に設けられ、前記第1基板上で前記第1導電膜と電気的に接続される第1接続電極と、 前記第2基板に設けられ、前記第2基板上で前記第2導電膜と電気的に接続される第2接続電極と、を備え、 前記第1接続電極の厚み寸法は、前記第1反射膜の厚み寸法と前記第1導電膜の厚み寸法との和よりも大きく形成され、 前記第1接続電極は前記第1基板の表面から前記第1導電膜の外縁部の表面に延出して接触し、 前記第2接続電極の厚み寸法は、前記第2反射膜の厚み寸法と前記第2導電膜の厚み寸法との和よりも大きく形成され、 前記第2接続電極は前記第2基板の表面から前記第2導電膜の外縁部の表面に延出して接触している ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (2件)：
G02B 26/00 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
G02B26/00 ,  B81B3/00
Fターム (15件)：
2H141MA21 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MF02 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ28 ,  3C081AA01 ,  3C081BA28 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA15 ,  3C081CA20 ,  3C081CA32 ,  3C081EA08
引用特許：
審査官引用 (3件)

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