特許
J-GLOBAL ID:201403016978823903

感光性樹脂組成物および該感光性樹脂組成物を用いたフォトスペーサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 籾井 孝文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-284668
公開番号(公開出願番号):特開2014-126768
出願日: 2012年12月27日
公開日(公表日): 2014年07月07日
要約:
【課題】所望の柱状成形体を形成し得る感光性樹脂組成物、より具体的には、非逆テーパー形状のフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーと、波長290nm〜380nmに極大吸収波長を有する第1の光重合開始剤と、波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有する第2の光重合開始剤とを含む。好ましい実施形態においては、上記第1の光重合開始剤が、α-アミノケトン系化合物である。好ましい実施形態においては、上記第2の光重合開始剤が、α-ヒドロキシケトン系化合物である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーと、波長290nm〜380nmに極大吸収波長を有する第1の光重合開始剤と、波長230nm〜290nmに極大吸収波長を有する第2の光重合開始剤とを含む、感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/031 ,  G03F 7/038 ,  G02F 1/133 ,  C08F 290/12
FI (4件):
G03F7/031 ,  G03F7/038 501 ,  G02F1/1339 500 ,  C08F290/12
Fターム (81件):
2H125AC03 ,  2H125AC31 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC43 ,  2H125AC44 ,  2H125AC46 ,  2H125AC48 ,  2H125AC63 ,  2H125AD02 ,  2H125AD05 ,  2H125AD07 ,  2H125AN23P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN87P ,  2H125BA10P ,  2H125CA15 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD23P ,  2H125CD35 ,  2H189DA07 ,  2H189EA04X ,  2H189FA16 ,  2H189HA16 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD061 ,  4J127BD101 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE31Y ,  4J127BE31Z ,  4J127BE311 ,  4J127BE34X ,  4J127BE341 ,  4J127BE46X ,  4J127BE461 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG10Z ,  4J127BG101 ,  4J127BG12X ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG13X ,  4J127BG131 ,  4J127BG15X ,  4J127BG151 ,  4J127BG16X ,  4J127BG16Y ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG31X ,  4J127BG311 ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127EA13 ,  4J127FA00 ,  4J127FA08 ,  4J127FA15 ,  4J127FA17 ,  4J127FA21 ,  4J127FA30 ,  4J127FA37
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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