特許
J-GLOBAL ID：201403019595392231

静電チャックおよびその製造方法

発明者：
石田 弘徳

石田 弘徳 について

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鈴木 裕明

鈴木 裕明 について

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佐藤 敬輔

佐藤 敬輔 について


出願人/特許権者：
太平洋セメント株式会社

太平洋セメント株式会社 について

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株式会社日本セラテック

株式会社日本セラテック について


代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-211464
公開番号（公開出願番号）：特開2014-067834
出願日： 2012年09月25日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
要約：
【課題】耐腐食性の向上を図りながらも、ウエハの温度制御精度の向上を図りうる静電チャック及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の静電チャックは、ウエハを支持するための支持面10を有するセラミックス焼結体1と、セラミックス焼結体1に埋設されている静電チャック電極21とを備えている。セラミックス焼結体1において、静電チャック電極21を基準として支持面10の側に存在する第1層11(第1領域)よりもセラミックス粒子の平均粒子径が大きい第2層12(第2領域)が、静電チャック電極21を基準として支持面10の反対側に存在する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウエハを支持するための支持面を有するセラミックス焼結体と、前記セラミックス焼結体に埋設されている静電チャック電極と、を備え、 前記セラミックス焼結体において、前記静電チャック電極を基準として前記支持面の側に存在する第1領域よりもセラミックス粒子の平均粒子径が大きい第2領域が、前記静電チャック電極を基準として前記支持面の反対側に存在することを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00 ,  B23Q 3/15
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D ,  B23Q3/15 D
Fターム (10件)：
3C016GA10 ,  5F131AA02 ,  5F131BA17 ,  5F131CA68 ,  5F131EB15 ,  5F131EB18 ,  5F131EB22 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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