特許

J-GLOBAL ID：201403024766758683

圧力センサー素子、電子機器および移動体

発明者： 渡辺 潤
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-234485
公開番号（公開出願番号）：特開2014-085234
出願日： 2012年10月24日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：

【課題】感圧素子を気密封止し高い検出信頼性を有する圧力センサー素子を提供する。【解決手段】圧力センサー素子100は、基台3と、基台3との間に内部空間sを形成し、圧力を感知する受圧面15に第1金属配線4を有しているダイヤフラム1と、2つの支持部212に挟まれている振動腕211を含み、支持部212が内部空間sの側でダイヤフラム1に接続されていて、振動腕211に配置されている励振電極213が支持部212へ延出している第2金属配線5を有している感圧素子21と、を備え、ダイヤフラム1の第1金属配線4と第2金属配線5とが容量結合している、ことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基台と、 前記基台との間に内部空間を形成し、受圧面側に第1金属配線を有しているダイヤフラムと、 2つの支持部に挟まれている振動腕を含み、前記支持部が前記内部空間側で前記ダイヤフラムに接続されていて、前記振動腕に配置されている励振電極が前記支持部へ延出している第2金属配線を有している感圧素子と、を備え、 前記第1金属配線と前記第2金属配線とが容量結合している、ことを特徴とする圧力センサー素子。

IPC (1件)：

G01L 9/00

FI (1件)：

G01L9/00 C

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055CC54 ,  2F055CC55 ,  2F055DD19 ,  2F055EE39 ,  2F055FF49 ,  2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ダイアフラム付電子デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-263775   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 非接触信号伝送システムおよび方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-195674   出願人：独立行政法人科学技術振興機構, 独立行政法人産業技術総合研究所
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-022776   出願人：日本電波工業株式会社
• 信号伝送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-296021   出願人：横河電機株式会社