特許
J-GLOBAL ID：201403031854007341

半導体装置の検査方法および半導体装置の検査装置

発明者：
久保田 雅之

久保田 雅之 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (3件)： 高田 守 ,  高橋 英樹 ,  久野 淑己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-029259
公開番号（公開出願番号）：特開2014-157133
出願日： 2013年02月18日
公開日（公表日）： 2014年08月28日
要約：
【課題】検査時間を短縮することのできる半導体装置の検査方法および半導体装置の検査装置を提供する。【解決手段】 複数の高周波電力増幅器DUTに対して逐次的に検査を行う検査方法であって、測定ステップと計算ステップとを備える。測定ステップでは、高周波電力増幅器DUTに入力電力Pinを与えて出力電力Poutを測定する。出力電力Poutが所定範囲内に無い場合には入力電力を調整する。この所定範囲内の出力電力となる入力電力で高周波電力増幅器DUTに高周波入力信号を与えて前記高周波電力増幅器DUTの特性を測定する。計算ステップでは、前回までの複数の測定ステップでそれぞれ高周波入力信号を与えたときの入力電力Pinの値を検査入力値Pincとして取得する。第1、2周波数について第1,2検査入力値を複数取得し、回帰分析を行う。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
同一の半導体装置に対して第1周波数の入力信号および前記第1周波数と異なる第2周波数の入力信号を入力して出力信号を測定する検査を、複数の半導体装置に逐次的に行う半導体装置の検査方法であって、 第1入力電力に対する半導体装置の第1出力電力を測定し、測定した前記第1出力電力が第1所定範囲内に無い場合には前記第1出力電力が前記第1所定範囲内となるように前記第1入力電力を調整し、前記第1所定範囲内の前記第1出力電力となる前記第1入力電力で前記第1周波数の第1入力信号を前記半導体装置に与え、前記半導体装置の特性を測定する第1測定ステップと、 第2入力電力に対する前記半導体装置の第2出力電力を測定し、測定した前記第2出力電力が第2所定範囲内に無い場合には前記半導体装置の第2出力電力が前記第2所定範囲内となるように前記第2入力電力を調整し、前記第2所定範囲内の前記第2出力電力となる前記第2入力電力で前記第2周波数の第2入力信号を前記半導体装置に与え、前記第2入力信号に応じた前記半導体装置の特性を測定する第2測定ステップと、 前記第1入力信号を与えたときの入力電力の値と電力制御値のいずれかの値である第1検査入力値と前記第2入力信号を与えたときの入力電力の値と電力制御値のいずれかの値である第2検査入力値との組を半導体装置ごとに求め、半導体装置ごとに求めた複数の前記第1検査入力値および複数の前記第2検査入力値の組から、回帰分析を行う回帰分析ステップと、 前記第1測定ステップを行った半導体装置に対して、前記第1検査入力値を前記回帰分析の結果にあてはめて算出した電力値を、前記第2測定ステップの第2入力電力の初期値とする算出ステップと、 をさらに備えることを特徴とする半導体装置の検査方法。
IPC (2件)：
G01R 31/28 ,  G01R 31/26
FI (2件)：
G01R31/28 H ,  G01R31/26 G
Fターム (16件)：
2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB02 ,  2G003AB05 ,  2G003AB08 ,  2G003AB13 ,  2G003AE03 ,  2G003AE08 ,  2G003AH01 ,  2G003AH04 ,  2G132AD01 ,  2G132AE14 ,  2G132AE22 ,  2G132AE23 ,  2G132AG04 ,  2G132AL09
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)
  • 試験装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-260190   出願人：アンリツ株式会社

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