特許
J-GLOBAL ID：201403032918649535

ウェーハの面取り加工方法、ウェーハの面取り加工装置および砥石角度調整用治具

発明者：
片山 一郎

片山 一郎 について


出願人/特許権者：
ダイトエレクトロン株式会社

ダイトエレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-179315
公開番号（公開出願番号）：特開2014-037014
出願日： 2012年08月13日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
要約：
【課題】2つの溝なし砥石を使用するウェーハの面取り加工方法において、溝なし砥石の整形(ツルーイング)にかかる時間を短縮する。また、溝なし砥石とウェーハとの接触長を大きくし、ウェーハの縮径加工とウェーハを所望の断面形状に加工するコンタリング加工に要する時間を短縮する。【解決手段】回転テーブル上にウェーハ1を芯だしして載置し、回転させて、この回転するウェーハ1を加工する2つの溝なし砥石3,3をウェーハ周端部1aに接触させてウェーハ1の直径または断面形状を面取りする面取り加工方法であって、上記2つの溝なし砥石3,3の幅方向の中心線L,Lを、上記回転テーブル上に載置された上記ウェーハ1の回転軸S側に向けて互いに近接させて配置して、上記ウェーハ1に接触させることを特徴とする。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
回転テーブル上にウェーハを芯だしして載置し、回転させて、この回転するウェーハを加工する2つの溝なし砥石をウェーハ周端部に接触させてウェーハの直径または断面形状を面取りする面取り加工方法であって、 上記2つの溝なし砥石の幅方向の中心線を、上記回転テーブル上に載置された上記ウェーハの回転軸側に向けて互いに近接させて配置して、上記ウェーハに接触させることを特徴とするウェーハの面取り加工方法。
IPC (4件)：
B24B 9/00 ,  B24B 41/04 ,  B24B 47/04 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B9/00 601H ,  B24B41/04 ,  B24B47/04 ,  H01L21/304 621E
Fターム (27件)：
3C034AA19 ,  3C034BB15 ,  3C034BB22 ,  3C034BB27 ,  3C049AA03 ,  3C049AA13 ,  3C049AA14 ,  3C049AA18 ,  3C049AB01 ,  3C049BA02 ,  3C049BA07 ,  3C049BC02 ,  3C049CA05 ,  3C049CB02 ,  3C049CB03 ,  5F057AA32 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057BB07 ,  5F057BB09 ,  5F057BB11 ,  5F057BB12 ,  5F057CA09 ,  5F057DA11 ,  5F057EB20 ,  5F057FA24 ,  5F057GA27
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM