特許
J-GLOBAL ID：201403033373154327
向上したプロセス制御のための品質測定値を提供するための方法およびシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-503952
公開番号（公開出願番号）：特表2014-512101
出願日： 2012年04月04日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：
本発明は、多数のウェーハの1つ以上のウェーハフィールドにわたって分布する複数の計測標的から複数のオーバレイ計測測定信号を取得することと、複数のオーバレイアルゴリズムを用いて複数のオーバレイ計測測定信号それぞれについて複数のオーバレイ推定値を決定することと、複数のオーバレイ推定値分布を生成することと、生成された複数のオーバレイ推定値分布を用いて第1の複数の品質測定値を生成することとを含み得る。各品質測定値は、生成された複数のオーバレイ推定値分布のうち1つのオーバレイ推定値分布に対応し、各品質測定値は、生成されたオーバレイ推定値分布の幅の関数に対応し、各品質測定値は、さらに関連付けられた計測標的からのオーバレイ計測測定信号中に存在する非対称性の関数である。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハ作製におけるプロセス制御の向上に適した品質測定値を提供するための、コンピュータによってインプレメントされる方法であって、
多数のウェーハの1つ以上のウェーハフィールドにわたって分布する複数の計測標的から複数のオーバレイ計測測定信号を取得することであって、各オーバレイ計測測定信号は、前記複数の計測標的の計測標的に対応し、前記複数のオーバレイ計測測定信号は、第1の測定レシピを用いて取得される、ことと、
前記複数のオーバレイ計測測定信号それぞれについて複数のオーバレイ推定値を決定することであって、前記決定は、複数のオーバレイアルゴリズムを各オーバレイ計測測定信号に適用することにより行われ、各オーバレイ推定値は、前記オーバレイアルゴリズムのうち1つを用いて決定される、ことと、
前記複数のオーバレイ推定値を用いて前記複数の計測標的からの前記複数のオーバレイ計測測定信号それぞれについてのオーバレイ推定値分布を生成することにより、複数のオーバレイ推定値分布を生成することと、
前記生成された複数のオーバレイ推定値分布を用いて第1の複数の品質測定値を生成することであって、各品質測定値は、前記生成された複数のオーバレイ推定値分布のうち1つのオーバレイ推定値分布に対応し、各品質測定値は、生成されたオーバレイ推定値分布の幅の関数に対応し、各品質測定値は、さらに関連付けられた計測標的からのオーバレイ計測測定信号中に存在する非対称性の関数である、ことと、
のプロセスを含む、方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/66 J
, H01L21/30 514E
, H01L21/30 502V
, H01L21/66 Z
4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DB07
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 4M106DJ27
, 4M106DJ38
, 5F146AA17
, 5F146BA03
, 5F146DA07
, 5F146DB05
, 5F146FC04
