特許
J-GLOBAL ID：200903019089444304
向上された自動プロセス制御のためのオーバレイ診断の利用
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-511937
公開番号（公開出願番号）：特表2005-529488
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 オーバレイターゲットの質を分析する方法および装置を提供する。【解決手段】 ある実施形態において、オーバレイターゲットからデータを抽出する方法が開示される。まず、オーバレイターゲットの画像情報または強度信号が提供される。オーバレイ誤差は、オーバレイターゲットの画像情報または強度信号(群)を分析することによってオーバレイターゲットから得られる。系統誤差測定値はまた、オーバレイターゲットの画像情報または強度信号(群)を分析することによって、オーバレイターゲットから得られる。例えば、系統誤差測定値は、オーバレイターゲットの1つ以上の部分についての非対称性測定値を示す。ノイズ測定値は、粒状性の背景のような、オーバレイターゲットに関連付けられた空間ノイズを特徴付ける。他の実施形態において、オーバレイおよび/またはステッパ分析プロシージャが、オーバレイデータと共に系統誤差測定値および/またはノイズ測定値に基づいてそれから実行される。
請求項（抜粋）：
オーバレイターゲットからデータを抽出する方法であって、
(a)前記オーバレイターゲットの画像情報または1つ以上の強度信号を提供し、
(b)前記オーバレイターゲットの前記画像情報または前記1つ以上の強度信号を分析することによって前記オーバレイターゲットからオーバレイ誤差を取得し、
(c)前記オーバレイターゲットの前記画像情報または前記1つ以上の強度信号を分析することによって前記オーバレイターゲットから系統誤差測定値を取得し、
(d)前記オーバレイターゲットの前記画像情報または前記1つ以上の強度信号に統計モデルを適用することによって前記オーバレイターゲットからノイズ測定値を取得する
方法。
IPC (3件)：
H01L21/027
, G01B11/00
, G03F9/00
H01L21/30 525W
, G01B11/00 H
, G03F9/00 H
2F065AA03
, 2F065AA07
, 2F065AA17
, 2F065AA20
, 2F065AA61
, 2F065BB02
, 2F065BB28
, 2F065CC19
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065FF50
, 2F065HH16
, 2F065HH17
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL05
, 2F065PP24
, 2F065QQ17
, 2F065QQ18
, 2F065QQ24
, 2F065QQ42
, 2F065RR05
, 5F046BA03
, 5F046FC04
, 5F046FC05
