特許
J-GLOBAL ID：201403035349384047

ノズル管ユニットとこれを用いた洗浄装置。

発明者：
西原 幸治

西原 幸治 について

, 
橋本 正人

橋本 正人 について


出願人/特許権者：
株式会社中西製作所

株式会社中西製作所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-204946
公開番号（公開出願番号）：特開2014-057924
出願日： 2012年09月18日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】構造を簡素化するとともに複数のノズルにおいて液体と気体の混合比を均一にして噴射させることができるノズル管ユニットを得る。【解決手段】管長方向に液体を噴射する複数の噴射ノズル43を装着した外管42と、外管の内側に複数の噴射ノズルの各々と略対向させた気体を噴出する複数の小孔50を有する内管49とを所定の間隔を有して略同心状に配置し、外管の内面と内管の外面との間隔に液体通路51を構成するとともに、内管に有する小孔から液体通路に吐出させた気体を噴射ノズルに導出させて液体と気体の混合流体として噴射することを特徴とするノズル管ユニットと、これを用いた洗浄装置としたものである。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
管長方向に液体を噴射する複数の噴射ノズルを装着した外管と、 前記外管の内側に前記複数の噴射ノズルの各々と略対向させた気体を噴出する複数の小孔を有する内管とを所定の間隔を有して略同心状に配置し、 前記外管の内面と内管の外面との間隔に液体通路を構成するとともに、 前記内管に有する小孔から液体通路に吐出させた気体を噴射ノズルに導出させて液体と気体の混合流体として噴射することを特徴とするノズル管ユニット。
IPC (1件)：
B05B 7/04
FI (1件)：
B05B7/04
Fターム (20件)：
4F033AA04 ,  4F033BA02 ,  4F033BA04 ,  4F033CA01 ,  4F033DA05 ,  4F033EA05 ,  4F033HA04 ,  4F033PA02 ,  4F033PD01 ,  4F033QA09 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB03X ,  4F033QB12Y ,  4F033QB15X ,  4F033QC04 ,  4F033QD14 ,  4F033QD16 ,  4F033QD23 ,  4F033QE11 ,  4F033RE17
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 実開昭56-59168号公報
  • 噴射ノズル
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-271030   出願人：尾崎順三
審査官引用 (3件)
  • マット洗浄機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-185947   出願人：株式会社ケーイーコーポレーション
  • 基板処理装置及び基板洗浄ユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-238268   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 特表平7-502924

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