特許
J-GLOBAL ID：201403035351502421
流体センサの診断機構及び診断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西村 竜平
, 佐藤 明子
, 齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-207978
公開番号（公開出願番号）：特開2014-063348
出願日： 2012年09月21日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：
【課題】流体センサから出力される測定値のどの区間にどの程度の測定誤差が発生しているかについて定量的に検定することができ、ひいてはその検定結果等に基づいて各区間の測定誤差に応じた校正により、測定レンジの全域に亘って高精度な流体センサにすることができる診断機構及び診断方法を提供する。【解決手段】バルブ全閉部7と、前記バルブ2、21が全閉状態で維持されている状態、又は、全閉状態から開放状態へと変化した状態であり、流体パラメータ変化区間を複数の診断区間に分割するとともに、各診断区間において前記流体センサから出力される流量又は圧力の測定値に基づいて各診断区間の診断用パラメータをそれぞれ算出する診断用パラメータ算出部5と、各診断区間においてそれぞれ算出された診断用パラメータと、予め定められた基準パラメータとに基づいて、前記流体センサが各診断区間において出力する流量又は圧力の測定値を検定又は校正する診断部6とを備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流路を流れる流体の流量又は圧力を測定する流体センサの測定値について検定又は校正する診断機構であって、
前記流路上に設けられたバルブを全閉させる全閉信号を出力するバルブ全閉部と、
前記バルブが全閉状態で維持されている状態、又は、全閉状態から開放状態へと変化した状態であり、時間経過に対して前記流路を流れる流体の流量又は圧力が変化している流体パラメータ変化区間を複数の診断区間に分割するとともに、各診断区間において前記流体センサから出力される流量又は圧力の測定値に基づいて各診断区間の診断用パラメータをそれぞれ算出する診断用パラメータ算出部と、
各診断区間においてそれぞれ算出された診断用パラメータと、予め定められた基準パラメータとに基づいて、前記流体センサが各診断区間において出力する流量又は圧力の測定値を検定又は校正する診断部とを備えていることを特徴とする診断機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
5H307BB01
, 5H307DD01
, 5H307EE02
, 5H307FF01
, 5H307GG03
, 5H307HH12
, 5H307KK08
