特許
J-GLOBAL ID：200903077072246274

流量コントローラ

発明者：
林本 茂

林本 茂 について

, 
五島 憲一

五島 憲一 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-099229
公開番号（公開出願番号）：特開平11-294631
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成でノズルの目づまりを検出し、その目づまり状態に応じてガス流量を適正に制御すること。【解決手段】 流量コントローラは、音速ノズル1、バルブ2、圧力センサ3、コントローラ5及び制御装置6を備える。ノズル1は供給されるガス圧力に応じた流量のガスを流出させる。バルブ2は、ノズル1に供給されるガス圧力を調整し、ノズル1に対するガス流を遮断する。圧力センサ3は、ノズル1に供給されるガス圧力を測定する。コントローラ5は、ノズル1からのガス流量を制御するために、圧力センサ3の測定結果に基づきバルブ2を制御し、ノズル1に対するガス圧力を制御する。コントローラ5は、ノズル1に対するガス流をバルブ2で遮断させたときに圧力センサ3で測定される圧力降下に基づき、ノズル2の目づまりを判定する。コントローラ5及び制御装置6は、その目づまりの判定結果に基づき、バルブ2の制御を補正し、ノズル1に供給されるガス圧力を補正する。
請求項（抜粋）：
その上流側に供給されるガス圧力に応じた流量のガスをその下流側へ流出させるノズルと、前記ノズルの上流側に供給されるガス圧力を調整するための圧力調整手段と、前記ノズルの上流側に供給されるガス圧力を所定値に調整することにより前記ノズルの下流側へ流出するガス流量を目標値に制御するために、前記圧力調整手段を制御するための圧力制御手段とを備えた流量コントローラにおいて、前記圧力調整手段と前記ノズルとの間のガス流を遮断するためのガス流遮断手段と、前記ガス流遮断手段により前記圧力調整手段と前記ノズルとの間のガス流が遮断されたときに、前記ガス流遮断手段と前記ノズルとの間のガス圧力の降下を検出するための圧力降下検出手段と、前記検出されるガス圧力の降下の状態に基づいて前記ノズルの目づまり状態を判定するための目づまり判定手段とを備えたことを特徴とする流量コントローラ。
IPC (2件)：
F16K 51/00 ,  F16K 37/00
FI (3件)：
F16K 51/00 Z ,  F16K 37/00 J ,  F16K 37/00 F
引用特許：
審査官引用 (4件)
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