特許
J-GLOBAL ID：201403036190560694
振動デバイスの周波数調整方法、並びに振動デバイス、および電子デバイス
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 友一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-202826
公開番号（公開出願番号）：特開2013-034217
特許番号：特許第5495080号
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 振動部と、
平面視で、前記振動部の外縁に沿って前記振動部と一体に設けられ、前記振動部の表面と段差を有する周縁部と、
前記周縁部に設けられている電極パッドと、
前記段差の表面及び前記周縁部に設けられ、前記電極パッドと電気的に接続している引出電極と、
前記振動部に設けられており、非エッチング領域、及び前記非エッチング領域を介して前記引出電極と接続されているエッチングする領域とを有している励振電極と、
を含む振動デバイスを用意し、
前記エッチングする領域と前記非エッチング領域のうち前記エッチングする領域をエッチングし、
周波数を調整することを特徴とする振動デバイスの周波数調整方法。
IPC (6件)：
H03H 3/04 ( 200 6.01)
, H03H 3/02 ( 200 6.01)
, H03H 9/19 ( 200 6.01)
, H01L 41/18 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
H03H 3/04 B
, H03H 3/02 A
, H03H 9/19 F
, H01L 41/18 101 A
, H01L 41/18 101 B
, H01L 41/08 C
