特許
J-GLOBAL ID：201403036974069199

モールドの製造方法

発明者：
山口 布士人

山口 布士人 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (2件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-185250
公開番号（公開出願番号）：特開2014-044245
出願日： 2012年08月24日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：
【課題】高解像度のパターンが得られ、しかも解像度の安定性や大面積で解像度の均一性を改善できるモールドの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明のモールドの製造方法は、遷移金属の不完全酸化物を含むレジスト層を相対湿度30%以下の雰囲気で露光する工程を含むことを特徴とする。本発明のモールドの製造方法においては、前記遷移金属の不完全酸化物が、モリブデン(Mo)及び/又はタングステン(W)の不完全酸化物であることが好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
遷移金属の不完全酸化物を含むレジスト層を相対湿度30%以下の雰囲気で露光する工程を含むことを特徴とするモールドの製造方法。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/38 ,  G03F 7/004
FI (5件)：
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 502D ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/38 ,  G03F7/004
Fターム (21件)：
2H096AA30 ,  2H096BA13 ,  2H096EA04 ,  2H096GA08 ,  2H096JA02 ,  2H096JA03 ,  2H097BB10 ,  2H097CA12 ,  2H097CA14 ,  2H097CA17 ,  2H097LA17 ,  2H097LA20 ,  2H125AB03 ,  2H125AP08P ,  2H125CA30 ,  2H125CB04 ,  2H125CC03 ,  2H125CC08 ,  2H125DA31 ,  2H125EA16P ,  5F146AA32
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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