特許
J-GLOBAL ID：201403037346946128

試料ホルダー

発明者：
宮崎 裕也

宮崎 裕也 について


出願人/特許権者：
株式会社メルビル

株式会社メルビル について


代理人 (1件)： 坂野 博行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-186024
公開番号（公開出願番号）：特開2014-044842
出願日： 2012年08月27日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：
【課題】本発明は、熱による影響を抑えて、試料クレードル部の傾斜角のより正確な制御が可能である、試料ホルダーを提供することを目的とする。【解決手段】 すなわち、本発明の試料ホルダーは、試料クレードル部と、前記試料クレードル部を傾斜させるための傾斜機構とを有する試料ホルダーであって、前記傾斜機構が、制御棒と、駆動伝達軸と、モーターとからなり、電子顕微鏡の真空外領域における制御棒及び/又は駆動伝達軸の少なくとも一部が、断熱部材からなることを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、前記制御棒が、少なくとも2つの部材からなることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料クレードル部と、前記試料クレードル部を傾斜させるための傾斜機構とを有する試料ホルダーであって、前記傾斜機構が、制御棒と、駆動伝達軸と、モーターとからなり、電子顕微鏡の真空外領域における制御棒及び/又は駆動伝達軸の少なくとも一部が、断熱手段からなることを特徴とする試料ホルダー。
IPC (1件)：
H01J 37/20
FI (2件)：
H01J37/20 A ,  H01J37/20 C
Fターム (4件)：
5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001CC03 ,  5C001DD02
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開平4-206333
  • 電子顕微鏡用試料ホルダ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-281310   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開昭59-221955
審査官引用 (3件)
  • 特開平4-206333
  • 電子顕微鏡用試料ホルダ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-281310   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開昭59-221955

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