特許
J-GLOBAL ID：201403039982909618

ガス導入配管接続構造及びこれを用いた熱処理装置

発明者：
山崎 満

山崎 満 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-021790
公開番号（公開出願番号）：特開2014-152833
出願日： 2013年02月06日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
要約：
【課題】本発明は、複数のガス導入管が存在する場合であっても、誤接続を防止することができるガス導入配管接続構造及びこれを用いた熱処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】処理容器4内に複数種類のガスを導入するために、前記処理容器の所定のガス導入部8に複数のガス導入配管100を接続するガス導入配管接続構造10であって、 前記ガス導入部に、前記複数のガス導入配管に対応して設けられた複数のガス導入配管被接続部70と、 前記複数のガス導入配管の各先端に設けられ、前記ガス導入配管を前記ガス導入配管被接続部に固定接続するための複数のガス導入配管接続機構102と、を有し、 前記複数のガス導入配管被接続部及び前記複数のガス導入配管接続機構は、互いに対応する前記ガス導入配管接続機構及び前記ガス導入配管被接続部のみが1対1で接続可能な誤接続防止構造115、75を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
処理容器内に複数種類のガスを導入するために、前記処理容器の所定のガス導入部に複数のガス導入配管を接続するガス導入配管接続構造であって、 前記ガス導入部に、前記複数のガス導入配管に対応して設けられた複数のガス導入配管被接続部と、 前記複数のガス導入配管の各先端に設けられ、前記ガス導入配管を前記ガス導入配管被接続部に固定接続するための複数のガス導入配管接続機構と、を有し、 前記複数のガス導入配管被接続部及び前記複数のガス導入配管接続機構は、互いに対応する前記ガス導入配管接続機構及び前記ガス導入配管被接続部のみが1対1で接続可能な誤接続防止構造を有するガス導入配管接続構造。
IPC (3件)：
F16L 21/08 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/455
FI (3件)：
F16L21/08 Z ,  H01L21/31 B ,  C23C16/455
Fターム (25件)：
3H015KA00 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030GA06 ,  4K030KA04 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F045AA06 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AC05 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AE01 ,  5F045BB08 ,  5F045DP19 ,  5F045DP28 ,  5F045DQ05 ,  5F045EB10 ,  5F045EC07 ,  5F045EF02 ,  5F045EF20 ,  5F045EK06
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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