特許
J-GLOBAL ID：201403040610968551
検査用プローブの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
稲田 弘明
, 渡部 温
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-179700
公開番号（公開出願番号）：特開2012-230129
特許番号：特許第5340462号
出願日： 2012年08月14日
公開日（公表日）： 2012年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成される第1の線材及び第2の線材を接合して構成される検査用プローブの製造方法であって、
前記第1の線材の端面と前記第2の線材の端面とを突き合わせた状態でこの突き合わせ部を筒状部材の内径側に配置し、
前記筒状部材にレーザ光を照射することによって前記筒状部材を前記第1の線材及び前記第2の線材とそれぞれレーザ溶接した後に、溶接部の外周面を製品外径まで研磨し、
前記第1の線材と前記第2の線材とは融点が異なった材料によって構成され、
前記筒状部材の材料は、前記第1の線材の材料と前記第2の線材の材料のうち、融点が低いものよりも融点が高いものに近い融点を有すること
を特徴とする検査用プローブの製造方法。
IPC (2件)：
G01R 1/067 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01R 1/067 A
, G01R 1/067 J
, H01L 21/66 B
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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