特許
J-GLOBAL ID：201403040867273970

原子層堆積装置、発光装置の製造方法及び発光装置の色度調整方法

発明者：
吉田 武史

吉田 武史 について

, 
石塚 勇史

石塚 勇史 について


出願人/特許権者：
株式会社昭和真空

株式会社昭和真空 について


代理人 (1件)： 木村 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-131066
公開番号（公開出願番号）：特開2014-057048
出願日： 2013年06月21日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】所望の色度を有する発光装置が得られる原子層堆積装置、発光装置の製造方法及び発光装置の色度調整方法を提供する。【解決手段】ALD装置50は、成膜室51と、給気部52と、排気装置53と、載置台57と、制御部58と、を備える。載置台57上に発光装置としての半完成品100が塔載される。この状態で、ALD装置50は、予め測定された半完成品100についての色度測定結果に基づき、半完成品100の透明樹脂17上に、透光性を有するとともに半完成品100から出射される光のうち所定の波長の光を反射する透明膜18を形成する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
排気装置を具備する成膜室と、 前記成膜室内部に原料ガスを供給する給気部と、 前記成膜室内部の所定の位置に発光装置を設置する手段を備え、 予め測定された前記発光装置の色度測定結果に基づき、 前記発光装置上に、透光性を有するとともに前記発光装置から出射される光のうち所定の波長の光を反射する反射膜を形成する、 ことを特徴とする原子層堆積装置。
IPC (4件)：
H01L 33/50 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/455 ,  H01L 33/52
FI (4件)：
H01L33/00 410 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L33/00 420
Fターム (39件)：
4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BA46 ,  4K030BA47 ,  4K030CA00 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030LA14 ,  5F142AA25 ,  5F142BA02 ,  5F142BA14 ,  5F142BA23 ,  5F142BA32 ,  5F142CA02 ,  5F142CC03 ,  5F142CC04 ,  5F142CC26 ,  5F142CC27 ,  5F142CD02 ,  5F142CD17 ,  5F142CD18 ,  5F142CD45 ,  5F142CE03 ,  5F142CG04 ,  5F142CG05 ,  5F142CG23 ,  5F142DA12 ,  5F142DA22 ,  5F142DA32 ,  5F142DB20 ,  5F142FA12 ,  5F142FA26 ,  5F142FA38 ,  5F142FA40 ,  5F142FA50 ,  5F142HA05
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • LED光源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-172056   出願人：シチズンホールディングス株式会社
  • LED光源およびその色度調整方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-030165   出願人：シチズンホールディングス株式会社
  • LEDパッケージ製造システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-201653   出願人：パナソニック株式会社
審査官引用 (3件)
  • LED光源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-172056   出願人：シチズンホールディングス株式会社
  • LED光源およびその色度調整方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-030165   出願人：シチズンホールディングス株式会社
  • LEDパッケージ製造システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-201653   出願人：パナソニック株式会社

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