広い処理範囲の計測用ライブラリ

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：山川政樹 , 山川茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-553563
公開番号（公開出願番号）：特表2014-511565
出願日： 2012年02月09日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：

広い処理範囲の計測用ライブラリを生成する方法について説明する。たとえば、方法は、第1のパラメータに対して第1の処理範囲を有する第1のライブラリを生成するステップを含む。第1のパラメータに対して第2の処理範囲を有する第2のライブラリを生成する。第2の処理範囲は、第1の処理範囲と重複している。第2のライブラリを第1のライブラリにつなぎ合わせて、第1のパラメータに対して第3の処理範囲を有する第3のライブラリを生成する。第3の処理範囲は、第1および第2の各処理範囲より広い。【選択図】図4A

請求項（抜粋）：

半導体基板またはウェーハ上の反復構造の、広い処理範囲の計測用ライブラリを生成する方法であって、第1のパラメータに対して第1の処理範囲を有する第1のライブラリを生成するステップと、前記第1のパラメータに対して、前記第1の処理範囲と重複する第2の処理範囲を有する第2のライブラリを生成するステップと、前記第2のライブラリを前記第1のライブラリにつなぎ合わせて、前記第1のパラメータに対して、前記第1の処理範囲および前記第2の各処理範囲より広い第3の処理範囲を有する第3のライブラリを生成するステップとを備える方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01B 11/24 , G01N 21/956 , G01N 21/88

FI (4件)：

H01L21/66 J , G01B11/24 D , G01N21/956 A , G01N21/88 J

Fターム (36件)：

2F065AA54 , 2F065BB02 , 2F065BB18 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF48 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ00 , 2F065QQ25 , 2F065QQ38 , 2F065RR05 , 2F065RR09 , 2G051AA51 , 2G051AC21 , 2G051BA20 , 2G051CA01 , 2G051CA12 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CB06 , 2G051CB10 , 2G051DA07 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA19 , 2G051EB01 , 2G051GD05 , 2G051GD06 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106DB02 , 4M106DJ15 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21

引用特許：

出願人引用 (2件)

ライブラリ作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-172628 出願人：キヤノン株式会社
磁気共鳴血流画像化法
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-506761 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

審査官引用 (2件)

ライブラリ作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-172628 出願人：キヤノン株式会社
磁気共鳴血流画像化法
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-506761 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

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