金属膜を有する構造体の製造方法、それに用いる母型及びそれにより製造される構造体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中島淳 , 加藤和詳 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-040990
公開番号（公開出願番号）：特開2014-144639
出願日： 2014年03月03日
公開日（公表日）： 2014年08月14日
要約：

【課題】転写により母型の凹凸パターンが反映された金属膜を有する構造体を、母型の微細な凹凸パターンの破損を防いで製造する方法及びそれにより製造される構造体を提供することを目的とする。【解決手段】金属膜を有する構造体(22)の製造方法は、凹凸パターン(14)が形成されている基材(12)の表面にアルミニウムを含む第1の金属膜(16)を成膜した母型(10)を用意する工程と、前記第1の金属膜上に第2の金属膜(18)を成膜する工程と、前記第2の金属膜に支持部材(20)を接着させる工程と、前記支持部材とともに前記凹凸パターンが反映された前記第2の金属膜を前記第1の金属膜から剥離させる工程と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

凹凸パターンが形成されている基材の表面に、アルミニウムを含む第1の金属膜を成膜した母型を用意する工程と、前記第1の金属膜上に第2の金属膜を成膜する工程と、前記第2の金属膜に支持部材を接着させる工程と、前記支持部材とともに前記凹凸パターンが反映された前記第2の金属膜を前記第1の金属膜から剥離させる工程と、を含む金属膜を有する構造体の製造方法。

IPC (5件)：

B29C 33/38 , C23C 14/02 , C23C 14/14 , B29C 59/02 , B29C 33/42

FI (6件)：

B29C33/38 , C23C14/02 Z , C23C14/14 B , C23C14/14 G , B29C59/02 B , B29C33/42

Fターム (32件)：

4F202AA36 , 4F202AA44 , 4F202AF01 , 4F202AG05 , 4F202AH33 , 4F202CA19 , 4F202CB01 , 4F202CB29 , 4F202CD05 , 4F202CD07 , 4F202CD23 , 4F202CK12 , 4F209AA36 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN06 , 4F209PQ11 , 4K029AA04 , 4K029AA08 , 4K029AA21 , 4K029BA03 , 4K029BA05 , 4K029BA07 , 4K029BB02 , 4K029CA01 , 4K029DB03

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-303820
特開平2-073987
光学素子成形用型及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-201105 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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