特許

J-GLOBAL ID：201403041760252780

X線応力測定方法

発明者： 佐々木 敏彦
出願人/特許権者： 国立大学法人金沢大学
代理人 (8件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀 ,  小池 順造 ,  當麻 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-150939
公開番号（公開出願番号）：特開2014-013203
出願日： 2012年07月04日
公開日（公表日）： 2014年01月23日
要約：

【課題】より精度が高く、かつ、照射方向が限定された用途にも対応可能なX線応力測定方法を提供すること。【解決手段】被検物にX線を照射して得られる回折環に基いて被検物内に存在する応力を測定するX線応力測定方法であって、垂直入射方向と1つの斜め入射方向にてX線を照射し、それぞれに回折環を得、垂直入射方向の回折環からは、剪断応力τxz、τyzを得、斜め入射方向の回折環からは、剪断応力τxyと、応力の関係式(σx-σz)、(σy-σz)を得、以上によって得られた剪断応力および応力の関係式からz軸方向の応力σzを求め、これらをもって、6個の3軸応力成分σx、σy、σz、τxy、τyz、τxzを得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検物にX線を照射して得られる回折環に基いて被検物内に存在する応力を測定するX線応力測定方法であって、 被検物表面の測定点において直交するxy座標を被検物表面に規定しかつ該測定点における該被検物表面の法線をz軸と規定して、該測定点に対して、下記(I)で規定される垂直入射方向と1つの斜め入射方向にてX線を照射し、それぞれに回折環を得、 垂直入射方向の回折環からは、剪断応力τxz、τyzを得、 斜め入射方向の回折環からは、剪断応力τxy、および、〔x軸方向、z軸方向の応力の関係式(σx-σz)〕、および、〔y軸方向、z軸方向の応力の関係式(σy-σz)〕を得、 以上によって得られた剪断応力および応力の関係式からz軸方向の応力σzを求め、こ れらをもって、6個の3軸応力成分σx、σy、σz、τxy、τyz、τxzを得ることを特徴 とする、X線応力測定方法。 (I)測定点における被検物表面の法線に沿って測定点へ向かう垂直入射方向と、該法線から所定の入射角度Ψ0だけ傾いて測定点へ向かう1つの斜め入射方向であって、該斜 め入射方向は、被検物表面に投影したときに、その投影がxy座標のx軸に一致する方向である、前記垂直入射方向と斜め入射方向。

IPC (3件)：

G01L 1/25 ,  G01L 1/00 ,  G01N 23/20

FI (3件)：

G01L1/25 ,  G01L1/00 A ,  G01N23/20

Fターム (6件)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA13 ,  2G001KA07 ,  2G001LA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第5339253号
  
• 特許第4276106号
  

審査官引用 (1件)

• X線応力測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-173619   出願人：国立大学法人金沢大学