特許

J-GLOBAL ID：201403042296699241

基板移送装置

発明者： ヤン サンヒ ,  イ キウン ,  キム ソンジン ,  チャ ウンヒ
出願人/特許権者： エーピー システムズ インコーポレイテッド ,  サムスン・ディスプレイ・カンパニー・リミテッド
代理人 (2件)： 小宮 良雄 ,  大西 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-278173
公開番号（公開出願番号）：特開2013-131759
特許番号：特許第5575869号
出願日： 2012年12月20日
公開日（公表日）： 2013年07月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板が載置されるベース部; 前記ベース部を貫通して前記基板を支持する支持部;及び 前記支持部を上下方向に移動させる駆動部; を含み、 前記支持部は、 前記駆動部に載置され、前記駆動部によって上下に移動する載置部;及び 前記載置部に載置され、前記基板を支持する支え部; を含み、 前記載置部は、前記駆動部に載置され、上側面に形成され、中央が低点になるように曲率を有する設置溝が形成される載置板を含み、 前記支え部は、 前記設置溝に対応する曲面を有する支え台; 前記支え台の上側から上方に突出形成され、板溝が長さ方向に形成される支え突起;及び 前記板溝に挿入され、前記ベース部を貫通して前記基板を支持する薄板; を含むことを特徴とする基板移送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-024768   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-136153   出願人：株式会社日本製鋼所
• 吸引保持ハンド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-230384   出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-024768   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-136153   出願人：株式会社日本製鋼所