特許

J-GLOBAL ID：201403043422056269

炭化ケイ素放射線検出器の特性回復方法及びその運転方法

発明者： 岩本 直也 ,  大島 武 ,  土田 秀一 ,  星乃 紀博
出願人/特許権者： 独立行政法人日本原子力研究開発機構 ,  一般財団法人電力中央研究所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-015287
公開番号（公開出願番号）：特開2014-145705
出願日： 2013年01月30日
公開日（公表日）： 2014年08月14日
要約：

【課題】放射線に曝されて、検出信号強度が落ちた炭化ケイ素放射線検出器の特性を回復させる簡単な方法とそれを利用した放射線検出器の運転方法を提供する。【解決手段】炭化ケイ素放射線検出器の検出部を構成する炭化ケイ素結晶を、200°Cから350°Cの範囲にある一定温度で30分以上加熱することにより、放射線に曝されて放射線検出部の炭化ケイ素結晶に生じた点欠陥を修復させ、炭化ケイ素放射線検出器の特性を回復させる。炭化ケイ素結晶は、4H-SiCである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

放射線に曝されることによって、放射線検出部の炭化ケイ素結晶に生じた点欠陥を、該炭化ケイ素結晶を所定の温度で所定の時間加熱することにより修復させる、炭化ケイ素放射線検出器の特性を回復させる方法であって、 前記所定の温度が200°Cから350°Cの範囲にある温度であり、前記所定の時間が30分以上であることを特徴とする炭化ケイ素放射線検出器の特性回復方法。

IPC (4件)：

G01T 1/24 ,  H01L 29/868 ,  H01L 29/861 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

G01T1/24 ,  H01L29/91 F ,  H01L29/91 J ,  H01L21/324 X

Fターム (14件)：

2G088GG21 ,  2G088JJ37 ,  2G188BB06 ,  2G188CC28 ,  2G188CC29 ,  2G188CC36 ,  2G188CC37 ,  2G188DD13 ,  2G188DD39 ,  2G188DD41 ,  2G188EE01 ,  2G188EE25 ,  2G188FF19 ,  2G188FF28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• X線CT装置及びX線CT装置を用いた撮像方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-278861   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-110691
  
• バイポーラ型半導体装置の順方向電圧回復方法、積層欠陥縮小方法およびバイポーラ型半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-117176   出願人：関西電力株式会社, 財団法人電力中央研究所

引用文献：

審査官引用 (2件)

• 炭化ケイ素PNダイオード高エネルギー粒子検出器の単一アルファ粒子誘起電荷収集特性に関する研究
• Silicon carbide for UV, alpha, beta and X-ray detectors:results and perspectives