特許

J-GLOBAL ID：201403043945404791

装置、方法、およびリボン

発明者： ビレル、スティーヴン、エドワード ,  ケーブル、アラン ,  ヴィサー、ジョエル ,  ヤング、リディア、ジェー. ,  クワック、ジャスティン ,  エルデリング、ジョワシャン ,  ベイリー、トーマス、エイチ. ,  ピケ、アルバート ,  アウイェン、レイモンド
出願人/特許権者： フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド ,  ザ ユナイテッド ステーツ オブ アメリカ アズ リプレゼンティッド バイ ザ セクレテリ オブ ネイビー
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265742
公開番号（公開出願番号）：特開2013-078801
特許番号：特許第5448014号
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】材料を堆積させるためのリボンを準備する装置であって、 前記リボンに埋め込みウェルを形成する第1のモジュールと、 前記埋め込みウェル内にインクを分注する第2のモジュールと、 を備える、装置。

IPC (10件)：

B23K 26/00 ( 201 4.01) ,  B23K 26/36 ( 201 4.01) ,  B23K 26/046 ( 201 4.01) ,  B23K 26/02 ( 201 4.01) ,  G02F 1/13 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1368 ( 200 6.01) ,  H01L 21/3205 ( 200 6.01) ,  H01L 21/768 ( 200 6.01) ,  H01L 23/522 ( 200 6.01) ,  G01N 21/956 ( 200 6.01)

FI (11件)：

B23K 26/00 P ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/00 N ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/36 ,  B23K 26/04 C ,  B23K 26/02 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/136 ,  H01L 21/88 Z ,  G01N 21/956 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• パターン基板の欠陥修正方法及び欠陥修正装置並びにパターン基板製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-361453   出願人：レーザーテック株式会社