基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：杉谷勉 , 戸高弘幸 , 杉谷知彦 , 栗原要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-188870
公開番号（公開出願番号）：特開2014-049483
出願日： 2012年08月29日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：

【課題】処理部の電源を適切に遮断することができる基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置11は、基板を処理する処理ユニット13と、処理ユニット13に電力を供給するための処理部用配線61と、処理部用配線61を開閉して、処理ユニット13の電源を投入・遮断するマグネットコンタクタ63と、処理ユニット13を、電源の遮断が制限されている遮断制限状態から電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する制御部71と、を備えている。制御部71はさらに、処理ユニット13が遮断可能状態であるときにはマグネットコンタクタ63の作動を許容し、処理ユニット13が遮断制限状態にあるときにはマグネットコンタクタ63の作動を禁止する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を処理する処理部と、処理部に電力を供給するための処理部用配線と、処理部用配線を開閉して、処理部の電源を投入・遮断する開閉器と、処理部を、電源の遮断が制限されている遮断制限状態から電源の遮断が許容された遮断可能状態に変更する制御部と、を備え、制御部はさらに、処理部が遮断可能状態であるときには開閉器の作動を許容し、処理部が遮断制限状態にあるときには開閉器の作動を禁止する基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/68 A , H01L21/30 562

Fターム (27件)：

5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131BA12 , 5F131BA13 , 5F131BA14 , 5F131BB02 , 5F131BB03 , 5F131CA45 , 5F131DA22 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131DD03 , 5F131DD25 , 5F131DD62 , 5F131EA06 , 5F131EA24 , 5F131EB04 , 5F131GA13 , 5F146JA27 , 5F146LA19 , 5F146MA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体製造装置、クラスタツール、半導体製造装置の制御方法およびクラスタツールのメンテナンス方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-083148 出願人：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-076610 出願人：株式会社SOKUDO
基板処理装置および基板処理装置の管理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-411552 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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