特許

J-GLOBAL ID：201403045290327350

フォトニック結晶共振器の作製方法およびフォトニック結晶共振器

発明者： 横尾 篤 ,  ダナン ビロウォスト ,  納富 雅也 ,  章 国強
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 谷・阿部特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-167455
公開番号（公開出願番号）：特開2014-027168
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】作製精度が得やすいフォトニック結晶骨格材料を用いて精度の高いフォトニック結晶共振器作製方法およびフォトニック結晶共振器を提供する。【解決手段】周期的に配列された略円柱状の孔を複数列有する周期構造のフォトニック結晶2-bにおいて、周期構造の一部について、少なくとも1列の孔が存在しない線欠陥部分を設けるステップと、線欠陥部分に、略直方体のナノワイヤ3-bを設置可能にする、凹状の溝1-bを設けるステップと、ナノワイヤを溝に設置するステップとを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

周期的に配列された略円柱状の孔を複数列有する周期構造のフォトニック結晶基板において、該周期構造の一部について、少なくとも1列の孔が存在しない線欠陥部分を設けるステップと、 前記線欠陥部分に、略直方体のナノワイヤを設置可能にする、凹状の溝を設けるステップと、 前記ナノワイヤを前記溝に設置するステップと を含むことを特徴とするフォトニック結晶共振器の作製方法。

IPC (5件)：

H01S 3/08 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/13 ,  B82Y 20/00 ,  B82Y 40/00

FI (5件)：

H01S3/08 ,  G02B6/12 Z ,  G02B6/12 M ,  B82Y20/00 ,  B82Y40/00

Fターム (31件)：

2H147AB04 ,  2H147AB09 ,  2H147AB15 ,  2H147AC11 ,  2H147AC17 ,  2H147BB05 ,  2H147BF03 ,  2H147BF13 ,  2H147BG01 ,  2H147BG08 ,  2H147BG14 ,  2H147CC01 ,  2H147CC02 ,  2H147CC12 ,  2H147CD01 ,  2H147EA12A ,  2H147EA13A ,  2H147EA13C ,  2H147EA14B ,  2H147FA02 ,  2H147FA24 ,  2H147FB01 ,  2H147FB15 ,  2H147FC07 ,  2H147FD20 ,  2H147FE07 ,  2H147GA00 ,  2H147GA21 ,  2H147GA23 ,  5F172CC10 ,  5F172NQ31

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第7474811号
  
• 窒化物半導体光機能素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-252203   出願人：パナソニック株式会社