特許

J-GLOBAL ID：201403048695214748

導電性薄膜

発明者： 幾原 雄一 ,  山本 剛久 ,  柴田 直哉 ,  水向 祐樹 ,  小林 俊介
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-200917
公開番号（公開出願番号）：特開2014-056717
出願日： 2012年09月12日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：

【課題】他の構成によらずに物性を向上することができる導電性薄膜を提供する。【解決手段】一般式ABO3で表されるペロブスカイト型酸化物で形成された導電性薄膜3において、複数の空孔7が集まって形成された空孔群8を有し、前記空孔群8によって歪みが生じていることを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

一般式ABO3で表されるペロブスカイト型酸化物で形成された導電性薄膜において、 複数の空孔が集まって形成された空孔群を有し、前記空孔群によって歪が生じていることを特徴とする導電性薄膜。

IPC (7件)：

H01B 5/14 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/532 ,  C01G 23/00 ,  C23C 14/28

FI (6件)：

H01B5/14 Z ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 M ,  H01B5/14 A ,  C01G23/00 C ,  C23C14/28

Fターム (35件)：

4G047CA07 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD08 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DB05 ,  4K029DB17 ,  4K029DB20 ,  4M104BB36 ,  4M104BB37 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104DD33 ,  4M104DD40 ,  4M104DD43 ,  4M104HH16 ,  5F033HH35 ,  5F033LL02 ,  5F033LL06 ,  5F033LL09 ,  5F033PP11 ,  5F033PP14 ,  5F033VV06 ,  5F033XX10 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10 ,  5G307GA08 ,  5G307GC02

引用文献：

出願人引用 (1件)

• 日本金属学会講演概要2011年秋期(第149回)大会, 20111020, S1・1

審査官引用 (1件)

• 日本金属学会講演概要2011年秋期(第149回)大会, 20111020, S1・1