特許
J-GLOBAL ID：201403048835787310
板状物の加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-284294
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127618
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：
【課題】板状物を研削し、被研削面をエッチングする加工方法において、エッチングレートにばらつきが生じる場合であっても板状物を平坦に仕上げる。【解決手段】平坦な板状物1に所定のエッチング方法でエッチングしてエッチング後の板状物1の形状を予め把握し、研削ステップでは、その形状とは逆形状に反転させた非平坦形状である仕上げ研削形状に研削する。この後の所定のエッチング方法によるエッチングを被研削面に施すと、板状物1は均一厚さの平坦形状に形成される。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
板状物の加工方法であって、
板状物を保持する保持面を有した保持テーブルで保持された板状物を研削砥石を有した研削手段で研削して所定の厚さへと薄化する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、板状物の被研削面をエッチングするエッチングステップと、を備え、
前記研削ステップでは、該エッチングステップを実施した後に板状物が平坦となるように該エッチングステップでのエッチング状態を加味して板状物を非平坦形状に形成することを特徴とする板状物の加工方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304
, H01L 21/306
, B24B 7/04
H01L21/304 622R
, H01L21/306 R
, H01L21/306 M
, H01L21/302 105B
, B24B7/04 A
3C043BA03
, 3C043BA09
, 3C043BA16
, 3C043CC04
, 3C043DD05
, 5F004AA01
, 5F004FA06
, 5F043DD13
, 5F043DD16
, 5F043FF07
, 5F043FF10
, 5F057AA03
, 5F057BA21
, 5F057CA14
, 5F057CA25
, 5F057DA11
, 5F057DA28
, 5F057GA16
, 5F057GA21
