特許
J-GLOBAL ID：201403048994591183
集積回路のレイアウト設計におけるロングレンジ補正
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-021471
公開番号（公開出願番号）：特開2012-089892
特許番号：特許第5619795号
出願日： 2012年02月03日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 集積回路の異なる領域内における非対称的なフレアの変動に対して、集積回路レイアウトを処理する方法であって、
前記方法は、
前記集積回路の層に形成される特徴を定義する集積回路レイアウトの少なくとも一部を受信することと、
前記集積回路レイアウトの複数の領域における第1の配向を有する特徴に対する第1のセットのフレア・インテンシティ値、および、前記集積回路レイアウトの前記複数の領域における第2の配向を有する特徴に対する第2のセットのフレア・インテンシティ値を評価することと、
前記特徴のうちの第1のセットの1つ以上の特徴を、前記第1のセットの評価されたフレア・インテンシティ値の範囲と関連付けることと、
前記特徴のうちの第2のセットの1つ以上の特徴を、前記第2のセットの評価されたフレア・インテンシティ値の範囲と関連付けることと、
前記第1のセットの関連付けられた特徴に関連付けられたフレア・インテンシティ値の範囲に対して選択または調整される解像度向上技術を用いて、前記集積回路レイアウトを処理することと
を包含する、方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 1/70 ( 201 2.01)
, G03F 1/36 ( 201 2.01)
H01L 21/30 516 A
, H01L 21/30 502 Z
, G03F 1/70
, G03F 1/36
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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